广州潽拓光电科技有限公司——Agilent分子泵维修点

振动分析   在制造过程中以及泵运输前的测试中，对每台泵的振动频谱进行验证。全速下的平均大振动水平：0.4 m/s2。噪音测试   通过在以下 12 种不同运行状态和方向下对一批泵进行一系列测试，来验证泵噪音：垂直、水平和翻转位置；高温和低温；全速和低速。在正常运行状态下，168 次测量得到的平均噪音为 41 dB(A)+/-3σ。包装测试   通过对带包装的泵进行测试来验证包装性能，在测试时，使带包装的泵从 96 厘米/37.8 英寸的高度以各种角度跌落 18 次。装有 TwisTorr 305 的包装箱可承受 30 g 的加速度，以确保在运输过程中不会因跌落或运输而损坏。

分子泵控制器 “3D” 控制软件

早期的分子泵控制器又叫分子泵电源，其的功能是向分子泵供电；后来，改进型的控制器具备了一定的保护功能，可以监控分子泵的功率和温度，相当于为分子泵的工作状态设置了一条红线，分子泵只能在这条线以下工作（2D），若超过这条线控制器就会报警停机。

与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到优性能的曲面上（3D），达到佳的气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

与 704FS 同时发布的还有 804FS 和 404FS，加上之前的 84FS 和 304FS，形成了一个完整的系列。

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

扩散泵工作时，从喷塔高速喷射的油蒸汽在泵壁冷凝后沿泵壁流到下面油池，并从油池边缘向中心流动，在流动的过程中，油的温度逐渐升高，油中沸点比较低的小分子组分，在靠近油池边缘的地方就会汽化，而沸点比较高的大分子组分，则会在靠近油池中心的地方汽化。一般的扩散泵喷塔各级喷嘴之间是互相联通的，而安捷伦扩散泵的喷塔各级喷嘴彼此独立，特别是喷塔，只有沸点高的大分子油蒸汽才会从这里喷出，这一特点不仅扩散泵极限真空很好，而且由于高沸点的泵油更不容易二次挥发，使得泵的返油率很低。

安捷伦分子泵采用的3级TwissTorr 拖动级技术，通过分子泵旋转盘面，提高气体分子动能，从而有效提高抽速和极高的压缩比。的拖动级技术与上一代设计相比，功耗降低了20%。安捷伦Triscroll 和变频Triscroll 涡旋式干泵为双级涡旋式干泵，是目前市场上极限真空度的干泵

安捷伦Agilent E8364B PNA系列网络分析仪频率范围：10 MHz-50 GHz104 dB 动态范围和 <0.006 dB 迹线噪声<26 微秒/点测量速度，32 个通道，16,001 个点TRM/LRM 校准可实现准确的晶圆上、夹具内、波导和天线测量混频器变频损耗、回波损耗、隔离度和群延迟放大器增益压缩、谐波、IMD 和脉冲射频安捷伦E8364B矢量网络分析仪是PNA系列网络分析仪平台的成员，并提供速度和精度的组合，为今天的高频率，的组件测试要求的苛刻需求。