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    莱宝Leybold turbovac MAG W 3200涡轮分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半导体工业使用的涡轮分子泵。在半导体工业，涡轮分子泵用于以下应用场合：- 蚀刻；- 溅射；- 离子注入；- CVD；- 光刻。这些应用中，经常需要抽除腐蚀性气体。需要使用配有吹扫气体设备的磁悬浮分子泵，以免轴承损坏。尤其对于金属蚀刻，涡轮分子泵的泵内可能发生沉积现象， 选用带温度控制的扩展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止这种情况。与机械轴承涡轮分子泵相比，磁悬浮泵的优势在于气体流量较大时可以防止轴承过热，能够有效地防止腐蚀性介质对磁悬浮轴承的损坏。

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leybold tw 290/20/20- uhv是德国莱宝为质谱仪专门设计的一款分流泵，不同于 Leybold TW220/15，Leybold TW220/15速为能同时抽取两个腔体的真空，对应的流量分别为220L/s， 150L/s,Leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pump 能同时抽取三个腔体的真空，Leybold tw 290/20/20-uhv Turbo Pu对应三个腔体的真空流量分别为290L/min, 20L/min, 20L/min

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