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分子束外延MBE是一种晶体生长技术,首先将待成长的芯片放置在超高真空腔体中（~10-10Torr）,和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中,当炉温升至一定温度时,炉中的材料会以原子束或分子束的形式蒸发出来,此时基板也被加热至一适当的温度,分子束射至基板时,就会与基板表面的原子结合而生长出极薄的,可薄至单原子层水平,单晶体和几种物质交替的超晶格结构.

描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.用客户案例:某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,经过爱发科推荐,采用分子泵和涡轮分子泵80并搭配美国HVA真空闸阀成功分析生长晶体表面结构。

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.

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近日，真空推出了寿命更长、振动更小、噪声更低的新型涡轮分子泵，同时问世的还有真空专为涡轮泵转子开发的激光平衡技术。采用这项技术的相关真空泵特别适用于包括质谱分析、电子显微术、检漏仪和残余气体分析系统等对振动敏感的应用。真空的

高度可靠的新型涡轮分子泵：安全、耐用、抗老化、体积小巧

分子泵的另一性能指标是,压缩比，所谓压缩比是指分子泵的排气口压力与进气口压力之比,压缩比与转速及分子量的关系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G为与叶轮几何形状有关的常数;U为叶轮转速;M为气体的分子量。可见分子量大的气体压缩比较大。氦质谱检漏仪中,逆扩散检漏正是利用分子泵对小分子量氦气的低压缩比，而且，还通过降低叶轮转速，降低对He压缩比,从而提高对氦气的响应灵敏度。

分子泵的叶轮是高速旋转的精密件，在分子泵运转中，不允许固体杂物落到叶轮上,以避免损坏叶轮。也要防止大气突然冲入正在运转中的分子泵。因为这也有可能损坏叶轮，此外,分子泵运转过程中,要远离强磁场。结论改变氦质谱检漏仪的分子泵转速，检测信号值发生变化，仪器在运行时，分子泵转速改变后，只要改变漏率信号的修正系数，无需再次定标，即可保证检测漏率的准确性。

真空近年来陆续发布了多个型号的TwisTorr分子泵，该系列把分子泵的典型工作范围从高真空扩展到了超高真空。近日，针对一些对压缩比要求不高而气体流量很大的应用，真空又发布了谱拓系列分子泵。该系列包含305FSQ、305-ICQ，以及两个带有中间抽气口的型号305SF和305-ICSF。305FSQ和305SF通过独立的控制器供电和控制，而305-ICQ和305-ICSF具有集成于泵身的控制器，只需要为其提供24V电源即可工作。

很高450sccm的氮气流量

305FSQ和305SF可以处理很大450sccm的氮气流量，和很大500sccm的氢气/氦气流量，在同等抽速和功率的产品中，是要求高气体流量的科研和工业应用的理想选择。而具有集成式控制器的305-ICQ和305-ICSF也可以处理很大380sccm的氮气流量，和很大500sccm的氢气/氦气流量，可以应对绝大多数的仪器应用。

改进的转子结构

谱拓系列分子泵拥有的转子结构：比其他305分子泵增加了一级涡轮叶片，并采用了与其他305分子泵不同的牵引级。牵引级是专为大气载而设计的，它拥有更宽大的气体通道，解决了其他牵引级结构在高负载长期运行时发热集中的问题，可以承受持续的大气体流量，并可将前级耐压提高至16mbar。

超高真空抽气系统中的氢分压突然升高

1.泵体未经烘烤除气；

低于150℃长时间烘烤去气；

2.冷却水温过高或冷却系统故障使泵温升高。

冷却水温应低于14℃，运转中保证冷却系统正常工作。

油蒸汽返流

1.突然停电或停泵时，泵内没有及时充入干燥气体；

在泵转数降至很大转速的一半时，应及时充入干燥气体；

2.前级泵返流严重。

降低前级返油率。

谱拓不仅拥有全系列的混合轴承及全磁悬浮涡轮分子泵，同时还拥有各种旋片泵，干泵，谱拓泵，多级谱拓泵，氦质谱检漏仪，真空计，质谱仪等产品以及真空管件和系统解决方案。推出了一款全新涡轮分子泵TwisTorr305，它继承了TwisTorr系列分子泵超高真空、高压缩比、全无油润滑等优点，