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广州inficon真空计控制器出售***「潽拓光电」
来源:2592作者:2022/9/7 18:15:00






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空检漏的意义?

答:真空系统的极限真空决定于系统的抽速和漏气量,故在抽速一定时,漏气量就决定了真空度,欲使系统达到预定的极限真空,必须通过检漏和堵漏使系统的漏气量控制在允许漏率范围内。从原理上讲,真空检漏可分为哪两大类?答:可以分为:1)压力检漏法,包括①充气检漏法,②卤素检漏法,③氨检漏法。2)真空检漏法,包括①高频火花检漏法,②真空计检漏法,③质谱仪检漏法。



简述真空泵的抽气原理?答:1)利用压缩作用将气体排除到泵外。a.机械周期式膨胀压缩,b.蒸汽流粘滞牵引压缩,c.刚性表面的牵引压缩。2)利用吸附作用将气体束缚于泵内。a.利用电离吸气作用,b.利用物理吸附和化学吸附作用。



真空计,又叫真空规。半导体设备中,不可避免的用到真空计,主要是用来测量某一个腔室或者管道中的压强。

是什麽?能做什么?怎么用?1,是什麽?真空计,字面意思,计量真空度的仪器。2,能做什么?真空计主要用来测量真空,或者叫测量压强大小。腔室里面气体多,压力大,压强大,真空计显示的数值就大;反之,真空计显示的数值小。

DL-10A的校准曲线如下所示:▲DL-10A校准曲线横坐标是中国计量院科学院测量标准值,气样是氮气。纵坐标是DL-10A显示值。DL-10A的下限决定于Z0随时间漂移带来的误差。它主要决定于晶振的结构以及环境温度的变化。PART 02石英真空计性能



●石英真空计的精度较高,用音叉结构的晶振安装在稳定温度的金属柱上,在0.01Pa~105Pa之间测量误差为±10%。在真空计上限附近,即接近大气压经过调整后误差较小可做到3%。随着压强的减小,误差会增大。在真空计的下限误差较大。



▲DL-10A在中国计量科学院校准氮气结果

●石英真空计读数与气体种类有关,不同气体的相对压强读数也不同。下图采用的基准气体为氮气,测量不同气体时,应对该气体进行修正。▲不同气体的压强读数

●环境温度的变化会影响石英真空计的读数,在高压强不会引起很大误差,但在接近下限,会引起很大的误差。这主要体现在晶体的固有阻抗Z0随温度变化。

inficon温控仪从而为客户提供快捷价优聚焦AI与物联网领域,依托自身强大的研发平台,采用英特尔、海思、恩智浦、瑞芯微、飞思卡尔等平台智能芯,打造了计算机板卡、嵌入式准系统和工业平板电脑等可于智能闸机中,EMB-2511,华北工控基于NXPiMX8MMini四核处理器打造的PICO-ITX主板,产品板载2GBDDR4内存,板载16GBEMMCFlash;板型紧凑、AllInOne设计,提供丰富的IO接口。



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邹先生 (业务联系人)

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