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气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。EdwardsEXT70H24VCode:B722-26-991对应口径ISO100复合分子泵,是英国爱德华真空为分析仪器专门设计的分子泵,EdwardsEXT70H24V复合分子泵,是专为超高真空设计的。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。
分子泵清洗的方法如下:
1.关掉分子泵,进行排气。
2.从机器上拆下分子泵,注意不要碰到接口的边缘部分。
3.拆掉冷却器、加热器(如果有的话)等
4.拆掉润滑的油包
5.将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。
广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业,由从事多年真空系统开发,真空设备技术研发,维修工程师,工程师组成的一支技术实力***,充满活力的高素质团队。
产品详情:
品牌:爱德华 泵型号:NEXT400D 极限压力:6 x 10-8pa
抽气速率:400l/s 驱动方式:电动 输送介质 :清水泵
电压:24V 流量:400m3/h 功率:0.16kw
真空度:高真空度 ***da工作压强:6 x 10-8 抽气量:400
泵轴位置:边立式 重量:9.8kg 叶轮数目:多级
原理:真空泵 性能:自动 用途:化工
泵材质:不锈钢 类型:气体传输 排出口径DN25mm
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Edwards NEXT240D英国爱德华分子泵维修
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