潽拓—普发涡轮分子泵抽速，分子泵

PFEIFFER 分子泵 XT160-160-001（PUTUOVAC VACUUM）

真空泵使用说明：

1、关闭泵上方的阀门

2、有冷却水的泵接通冷却水。

3、近规定转向手盘皮带轮数圈，把泵腔内的油排入油箱内，确保启动不易喷油。（特别在冬季，油粘大，启动负荷大，故请注意）。

4、启动电动机，泵开动运转，观察油窗，检查油位。油位应在油标中心，油位偏高，会造成喷油；油位偏低，会造成润滑不良，泵极限压力达不到出厂指标。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。 加油、放油位置详见泵指示牌。缓慢打开泵上方的阀门，系统开始工作。 泵不工作时，油窗内几乎看不到油，都进入泵体内，油位以泵运转时为准。

5、冷却水的进水温度以不超过30℃为宜，进出水温差以不超过3℃为宜。

6、当环境温度低于5℃时，应将泵油放出加热到15-30℃后加入泵内启动工作。

7、泵温以油温减去环境温度不超过40℃为宜，否则应加强通风散热或增加冷却水流量。

8、进气温度高于40℃而使泵温过高时，须采取措施冷却气体。

9、当吸入气体对泵油或泵有影响时，在泵口前应装一个合适的过滤装置。

10、当泵抽除含有少量可凝性气体时，启动泵时应打开气镇阀工作半小时，可延长泵油使用时间。

11、当泵抽除含有颗粒、尘埃的气体时，在泵口前应装一个合适的过滤器。

12、关泵前，应先关闭泵上方的阀门与系统隔绝，然后停泵，再拧紧气镇阀，以防漏油，后关闭冷却水。冬季有冻jie的场合应放净泵内冷却水，以防泵腔冻裂。

   广州潽拓光电科技有限公司从事高真空设备研制、生产、销售、工程安装及售后维修服务于一体的综合性企业，由从事多年真空系统开发，真空设备技术研发，维修工程师，工程师组成的一支技术实力***，充满活力的高素质团队。

广州潽拓光电——***维修Pfeiffer TMH260涡轮分子泵保养（PUTUOVAC VACUUM）

   Pfeiffer TMH260涡轮分子泵是德国Pfeiffer Vacuum公司设计制造的一款分子泵，

Pfeiffer TMH260的转速为60000rpm, 其对应的频率为1000Hz，标准的Pfeiffer TMH260涡轮

分子泵对应的极限真空为1.0*10-7mbar,使用不锈钢外壳及CF口径的Pfiffer TMH260极限真空

可以达到5.0*10-10mbar

德国普发 Pfeiffer TMH260应用领域

1. 半导体生产 

2. 真空处理技术 

3. 质谱分析 

4. 研发及化工行业

广州潽拓——{精}普发 Hipace 80分子泵

广州现货普发 PFEIFFER Hipace 80分子泵

普发分子泵?Hipace?80的工作原理

轴承

   通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都安排在前真空侧，因为轴承中有润滑剂。这导致转子凭借其较大质量产生的单边（悬臂）支撑。

   混合轴承支撑就转子动力学而言在这方面有优势。混合轴承 指ding在一个单一泵中使用两个轴承的概念。在这种情况下，油润滑球轴承安装在前真空侧上轴的端部，且高真空侧配备了免维护和无磨损的永磁轴承，其将转子置于径向中心位置。润滑前真空侧轴承的油包含在工作液储罐中。小型安全 轴承布置在磁轴承转子内。在正常工作期间，轴颈在该轴承内自由旋转。如果存在强劲的径向冲击，安全轴承则稳定转子并只短时间转动。如果转子失去平衡，轴两端的轴承将比浮动轴承的情况下产生显著较低的轴承应力振动力。高真空侧的磁轴承对振动完全不敏感。因此，只有非常小的振动力被传输到壳体上。并且，这无须悬臂概念中较大的两个轴承，其较小的尺寸限制了转速。下图为PfeifferHipace400TurboPumpDN100ISO-KwithTC400维修实拍图片：。

PFEIFFER ?Hipace?80配套的电源 TC110如下图

电源是?24、48?或?72?伏的直流电，通过外部电源包或集成在泵的电子单元中的?电源包产生电流