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氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得普遍的检漏仪器。

为了正确使用氦气检漏设备，在充入检漏气体前有必要对抽空样品进行预抽空。如果在填充前没有排空，试件中的空气将被挤压到几何空间的末端，氦气检漏设备中的气体不能进入该部分，因此潜在的检漏孔将仅释放空气，检漏设备不能检测到这些检漏孔。

氦气检漏设备的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在检漏气体试验前放在水箱中，这些泄漏孔或毛细管会被水堵塞或充满，从而大大影响检漏结果

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广州潽拓光电科技有限公司——inficon英福康真空计保养费用氦质谱检漏仪维护

喷氦法

这是用于检测待连接到仪器的设备相对较小部分的zui常用方法，在良好真空后，使用喷在被测设备可能存在泄漏的地方（例如密封接头、焊缝等）喷射氦气。如果被测设备的一个部分存在泄漏，当氦气喷射到泄漏处时，氦气立即被吸入真空系统，当气体分散到质谱仪室中时，氦气泄漏检测器的输出将立即响应。以这种方式，应当注意，氦是一种轻惰性气体，在被喷射后自动上升，为了准确地将氦喷射到泄漏孔中，应当从上到下和从近到远（相对于检漏器位置）喷射氦。此外，泄漏孔与质谱仪室的反应时间不同，因此，氦注入应从靠近检漏仪的一侧开始，并从近到远进行。氦质谱检漏仪维护

吸氦法主要用于检查一些大型密封容器。例如，弹体、tan头、气罐、油箱等，inficon英福康真空计保养费用，首先将容器抽真空，然后填充氦气（为了节省氦气量，可以使用低浓度氦气），将橡胶管连接到氦质谱检漏仪的入口法兰，橡胶管的前端设有一个直径非常小的毛细管，使毛细管在焊缝和待检充氦容器外壁的密封接头等处移动，如果容器发生泄漏，泄漏的氦气将被吸入毛细管，检漏仪将作出响应。氦质谱检漏仪维护

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电子碰撞气体分子时，有一部分为电离碰撞，电离后形成的正离子在阴极上打出的二次电子，也受电场和磁场的共同作用而参与这种运动，使电离过程连锁的进行，在很短时间内雪崩式地产生大量的电子和离子，这样就形成了自持气体放电(一般称为潘宁放电)。英福康真空计保养

直接测量真空计

　　这种真空计直接测量单位面积上的力，有：

　　1、静态液位真空计：利用U型管两端液面差来测量压力。

　　2、弹性元件真空计：利用与真空相连的容器表面受到压力的作用而产生弹性变形来测量压力值的大小。

氦质谱检漏仪使用氦气的低分子量和非常小的分子尺寸，通过难以被察觉的方式渗透到电池里面，然后使用氦质谱仪检测氦气分子是否从外部泄漏到电池壳体内部。如果检测到氦气分子到达时间的变化，就说明电池壳体存在泄漏或漏洞。

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