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广州潽拓光电科技-二手普发分子泵TPH060维修
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视频作者:广州潽拓光电科技有限公司





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单级双吸泵真空泵和普通的水泵作用一样,其特点是把旋转水环当做活塞来改变泵腔的容积,以达到吸气、压缩和排气的目的。它的零部件包括转子叶轮、泵壳、端板、阀片、轴承、进排气口、进口单向阀、轴端密封等。通常情况下,轴端是密封的,是利用带水封环的填料进行密封处理的,二手普发分子泵TPH060维修,其中密封水是通过端板上的孔道导入导水封环位置的。哪里有修真空泵的


PFEIFFER TMH071 P涡轮分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent(VARIAN)、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析设备及氦检仪中分析仪器如氦质谱检漏仪,及小型分子泵组中。德国普发PFEIFFER TMH071 P分子泵进气法兰口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F,出气法兰口DN16ISO-KF,抽速可达到60L/s, 转速为90000rpm,极限真空<1*10E8mBAR; 对应的控制器为PFEIFFER TC600.


当今,现代化的半导体行业中,越来越多地应用涡轮分子泵。如溅射、刻蚀、蒸发、注入、分子束外延、离子加工等设备都需要在真空环境下运行。又如电子显微镜,表面分析仪器,残余气体分析仪及氦质谱检漏仪等也经常使用涡轮分子泵来抽真空。此外,在宇宙模拟设备、核聚变装置、太阳能集热管镀膜生产线上也都改用大型涡轮分子泵或低温泵来代替油扩散泵系统,以防止油蒸汽的污染。因此,z近十几年来,涡轮分子泵,在国内、外都得到了显着的改进和发展。在涡轮分子泵的应用日益增加干式的前级泵还没有大量普及和应用的情况下,有时还不得不用油封机械泵来作涡轮分子泵的前级泵。因此,针对这种现状,对涡轮分子泵的合理选用和正确操作是很重要的。

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机械密封的故障缘故及解决:

腐蚀:机泵机械密封的腐蚀包含金属圈腐蚀、非金属材料环腐蚀及其輔助密封圈及触碰位置的腐蚀。

金属圈腐蚀:金属圈自身不具有抗腐蚀工作能力,直接接触到腐蚀性物质表层会被腐蚀,前期环节会出現怪音、泄漏、损坏等状况。

腐蚀会以一定的速率往內部扩散。出外力的作用下金属圈会产应力形变,形变后露出的一部分是腐蚀的高发区,并根据薄弱点慢慢危害到别的地区,从而造成机械密封泄漏。



真空泵使用保养方法

1、真空泵在运行过程中的保养方法,真空泵轴承温度不得高于环境温度35℃。

2、寒冬季节真空泵保养方法,使用时要注意防冻,停车后,二手普发分子泵TPH060保养,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。

3、当真空泵需停止使用时,要先关闭闸阀、压力表,然后停止电机,以减少突然断电对部的损害。

4、真空泵长期停用,需将泵全部拆开,擦干水分,将转动部位及结合处涂以油脂装好,妥善保管。

5、当真空泵重新装配后应进行试运行,一般须空运转2小时并换油二次,因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物,待运转正常后,再投入正常工作。

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由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,佛山二手普发分子泵,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,二手普发分子泵TPH180保养,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。


潽拓维修/维修/保养/销售Pfeiffer普发TMH系列:

TMH064、TMH065、TMH071、TMH200、TMH260、TMH261、TMH262 、TMH301、TMH400MP、TMH520 、TMH521、TMH532、TMH1000、TMH1001、TMH1600、TMH1601、TMH261-130、TMH261-250、TMH261-250-040、TMH261-250P-3P、TMH071-010-005P、TMH071-012-005X、TMH071-012-005X-3P等


从原理上来看,涡轮分子泵是一种在壳体中快速旋转的涡轮,涡轮的各级都配备了多个转子叶片。旋转的转子叶片之间装有固定的定子盘,其叶片按相反方向放置。  

通过旋转的转子叶片将动量传递到气体分子,气体分子zui初的非定向热运动变成定向运动,即从泵的进口延轴方向移动到排气口。

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