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无机填料提供的是无营养物或接种的环境，其所需的较低的水力负荷使干燥更加容易。采用无机混合填料的生物滤池必须小心地对其进行管理，提供适当的填料接种环境，小心地控制水的流量，营养物的添加要有规律性。总之，如果这些问题能够解决的话，无机填料可以提供降解率，也可以使生物滤池做得更小。实际运行中，采用可编程的逻辑编辑器对生物滤池的运行进行监控，以便调整运行参数，反常条件下可以关掉系统。

蓄热式热氧化器，简称为RTO，在热氧化装置中计入蓄热式热交换器，在完成VOC预热后便可进行氧化反应。现阶段，蓄热式热氧化器的热回收率已经达到了95%，且其占用空间比较小，辅助燃料的消耗也比较少。由于当前的蓄热材料可使用陶瓷填料，其可处理腐蚀性或含有颗粒物的VOC气体。

生物处理方法适宜处理多种挥发性有机物(VOCs)和许多工业废气中的无机蒸气物质。这些物质中含有氮、氯或可产生少量酸的硫化合物。例如，H2S通常是恶臭问题的来源，用生物滤池可以得到很好的处理，仅仅是产生少量的酸。在处理低浓度的易降解的污染物质方面，生物滤池和生物滴滤池是***成功的。

有机废气处理除上述处理方法之外，还包括高温及触媒燃烧法、活性炭吸附法、臭氧分解法和电化学氧化法等。这些方法均适用于有机废气处理，但具体采用何种方法，则取决于废气浓度、设备装置和环境温度等条件。此外，还需要考虑操作人员的操作水平。

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不同成分、浓度及气量的气态污染物各有其有效的生物净化系统。生物洗涤塔适宜于处理净化气量较小、浓度大、易溶且生物代谢速率较低的废气；对于气量大、浓度低的废气可采用生物过滤床；而对于负荷较高以及污染物降解后会生成酸性物质的则以生物滴滤床为好。

一般情况下，一个完整的生物处理有机废气过程包括3个基本步骤：a) 有机废气中的有机污染物首先与水接触，在水中可以迅速溶解;b) 在液膜中溶解的有机物，在液态浓度低的情况下，可以逐步扩散到生物膜中，进而被附着在生物膜上的微生物吸收;c) 被微生物吸收的有机废气，在其自身生理代谢过程中，将会被降解，终转化为对环境没有损害的化合物质。