悬浮光力学是光力学与光学结合的产物,为微纳机械振子的控制和测量提供了一种全新的方法,这种方法具有准确的观测精度,可接近甚至突破标准极限,具有广阔的发展和应用前景。目前国际上已在室温下利用此系统实现了力、力矩、位移、加速度等多个物理量的极高灵敏度测量。石英挠性加速度传感器一般为单轴力矩反馈式加速度计,通过检测质量来检测外界的加速度信号,再经伺服电路解调、放大,在输出电流信号正比于加速度信号。
石英挠性加速度传感器产品
石英挠性加速度传感器产品特色抗振动和冲击,体积小,重量轻,宽压供电,功耗低,模拟电信号输出,单轴石英扰性加速度传感器价格按其应用分为:船用,航空航天用,车载等。空间用石英加速度计是以熔融石英玻璃经特种加工形成石英挠性摆作为主要结构。石英材料很脆,石英加速度计在空间振动、冲击、高低温变化等恶劣环境下使用,容易造成摆片挠性支撑处断裂。
单轴石英扰性加速度传感器价格由力矩器由轭铁、磁钢、磁极片与补偿环组成,其中磁钢选用合适的永磁材料构成永磁体以建立磁场,轭铁与磁极片使磁场沿轭铁形成磁回路,补偿环对漏磁进行补偿,上下力矩器采用同极对顶结构实现推挽工作方式,通过腹带将上下力矩器与摆片固定为整体,当外界有加速度输入时,摆片受惯性力作用将离开平衡位置。此时由摆片上下表面与上下力矩器端面组成的差动电容容值将发生改变,这一电信号通过接线柱输出至伺服回路。经过放大的电流信号输出至线圈,利用通电导线在磁场中受到的安培力经推挽作用使摆片回复平衡位置。在摆片偏转角度很小的情况下,该电流近似与输入加速度呈线性关系。此时检测该电流就能得到输入加速度大小。
随着惯性系统低成本化的发展,开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术,所以称为石英挠性加速度计,且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。单轴石英扰性加速度传感器价格挠性的材料为温度性能很好的石英玻璃,外形采用超声加工而成,挠性元件的加工一般采用化学腐蚀方法;也可以采用反应离子蚀刻工艺加工整个挠性材料,单轴石英扰性加速度传感器价格由伺服电路中差动电容检测器检测,其输出为电流,此电流经电流积分器变成输出电压,然后跨导补偿放大器把电压变成输出电流,该输出电流的大小与输入加速度成正比。
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