石英加速度计主要由表头、激振电路和测频电路等组成。其中表头由阻尼板、金属摆、力敏感石英梁组成。具有量程大、精度高、抗过载性强、体积小、功耗低、价格廉等特点。

物理特性

尺寸:

φ25.4×30 mm

重量

<80 g

工作性能:

量程

± 15 g

分辨率

50μg

零偏

≤|±15|mg

电流标度因数

2.9±0.5 mA/g

0g 2h 稳定性

≤150μg

1g 2h 稳定性

零偏温度系数

≤|±150|μg/℃

标度因数温度系数

≤|±150| ppm/℃

噪声(负载840Ω)

≤|±10|mv

电气特性;

工作电压范围

|±12|～|±15|V

工作电流

≤|±20| mA

使用环境；

工作温度范围

-40℃ ~ +120℃

存储温度范围

-50℃ ~ +125℃

振动

20g (20~2000Hz)

冲击

1000g, 0.5ms, 1/2sin

石英加速度传感器工作原理

随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。目前这种石英挠性加速度计已广泛应用于各类现代惯性系统中。加速度传感器工作原理压阻式传感器利用材料的压阻效应将物理量转换为电学量的方式来实现信号测量。 加速度传感器厂是根据惯性原理，通过石英挠性支撑，加上***的电子技术构成的精密仪表。石英加速度计是由表头组件和伺服电路俩部分组成。表头组件包括检测质量的部件、上力矩组件和下力矩组件三个部分组成。检测质量组件石油镀膜石英摆片和粘接在上面的俩个力矩器线圈组成。当有加速度或倾斜作用于检测质量时，质量应惯性而偏离平衡位置，电容检测器差动的检测摆质量的位移量。

加速度计的类型较多：按检测质量的位移方式分类有线性加速度计(检测质量作线位移)和摆式加速度计（检测质量绕支承轴转动）；按支承方式分类有宝石支承、挠性支承、气浮、液浮、磁悬浮和静电悬浮等；按测量系统的组成形式分类有开环式和闭环式；按工作原理分类有振弦式、振梁式和摆式积分陀螺加速度计等；按输入轴数目分类，有单轴、双轴和三轴加速度计；按传感元件分类，有压电式、压阻式和电位器式等。当外界有加速度输入时，加速度传感器厂的摆片受惯性力作用将离开平衡位置。此时由摆片上下表面与上下力矩器端面组成的差动电容容值将发生改变，这一电信号通过接线柱输出至伺服回路。经过放大的电流信号输出至线圈，利用通电导线在磁场中受到的安培力经推挽作用使摆片回复平衡位置。在摆片偏转角度很小的情况下，该电流近似与输入加速度呈线性关系。此时检测该电流就能得到输入加速度大小。使用传感器，尤其是石英加速度计之后，可以分析机器的运行状态，而不是每隔一段时间更换磨损的部件。在预测性维护框架内，只有在出现某些早期预警症状时，操作者才需要进行干预。选择好的石英加速度计在维护方面更省事。

速度和加速度传感器的工作原理往往是利用了位移的求导数学变换得来的，与位移的检测密不可分。由于数学处理的迅速，通过积分变换也能够快速获取系统的位移。因此通过速度传感器和加速度传感器也能够获取系统准确的位移量。加速度计是一种电子传感器，可以测量作用在物体上的加速度，以确定物体在空间中的位置并监视物体的运动。由于这种表面选用挠性支承技术所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化，这种石英挠性加速度计已广泛运用于各类现代惯性系统中。加速度传感器厂工作原理及结构由温度系数低导磁性能好的软磁资料组成，磁钢选用导磁性能比较良好的永磁资料，用无心磨床加工。挠性的片的材料为温度性能好的石英玻璃，外形选用超声加工而成，挠性元件的加工一般选用化学腐蚀办法；也可以选用反响离子蚀刻工艺加工整个挠性的片，但造价很高。