晶圆研磨机-GNX200B拥有BG贴膜研磨***技术



晶圆研磨机-OKAMOTO***GNX200B特点：
·GNX200B拥有BG贴膜研磨***技术。
·一台设备同时实现BG贴膜平坦化及晶圆的减薄化
·无需修砂可持续进行***平坦化加工。
·耗材损耗小，成本低廉。
·研磨废料精细减轻废水处理负担。
·提供晶圆研磨与晶圆贴膜自动化解决方案。



OKAMOTO GNX200B晶圆研磨机规格：
规格             GNX200B     GNX300B
***大加工直径     Ф200     Ф300
轴承旋转数     0~3600min-1     0~3000min-1
轴承驱动电机     2.2/4 Kw/P     5.5/4 Kw/P
轴承进给速率     1~999μm/min
主轴数             2
工作轴旋转数     1~300min-1
轴承尺寸（外径）    Ф250     Ф300
质量             3900mm     5700mm


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