水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂适用于半导体



水平多关节型4轴晶圆搬运机械手臂特点： 
带有对应PLP自动校准功能的4轴水平多关节型洁净机械手臂
适用于并列配置工位的传送
非接触校准功能可实现搬运
可搬运重量10kg



4轴水平多关节型晶圆搬运机械手臂基本参数：
使用环境                      洁净间内的大气环境
手臂                            单臂
到达距离                      1290 mm (被搬送物体中心到达距离)
升降轴MAX行程           400 mm
可搬运质量                  10 kg (手臂第3关节处基准)






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