有利于实现设备的小型化_3轴晶圆搬运机械手臂

3轴晶圆搬运机械手臂（小径晶圆用）特点： 
超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂SSCR3090S系列
适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，
有利于实现设备的小型化
机械手臂标准臂长：90mm
同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂
全轴使用2相步进电机
晶圆固定方式：真空吸附式，下托式
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供手指





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