晶圆贴膜机STK-7200V接触卡盘来处理各种晶圆
全自动晶圆贴膜机STK-7200V特点:
·无滚轮特殊真空安装技术(可选滚轮安装)
·使用多链接晶圆传送机械手进行配置
·伯努利臂用于更薄的晶圆处理
·晶圆位置与翘曲智能映射
·用于晶圆对准的光纤传感器
·接触卡盘来处理各种晶圆
·装晶圆盒(晶圆盒选配)
·带17'触摸屏LCD的工业PC控制
·内置电离器ESD保护
·非UV和UV胶带功能
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