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真空晶圆贴膜机STK-7060/STK-7160非接触安装
来源:作者:2021/5/12 16:25:00
真空晶圆贴膜机STK-7060/STK-7160可提供薄晶圆非接触安装


半自动真空晶圆贴膜机STK-7060/STK-7160特点:
******的真空安装技术


可编程均匀胶带张力控制


可提供薄晶圆非接触安装
全自动送胶带、贴纸、裁切
晶圆和框架手动装卸


选配热控晶圆夹头


基于PLC的控制,带5.7英寸触摸屏

防静电离子风机


旧胶带和衬板自动复卷


UV和非UV胶带安装


配置4级安全光传感器



半自动真空晶圆贴膜机STK-7060/STK-7160规格:
Items                  STK-7060                                                                     STK-7160
Wafer Size Diameter: 6”~8”,Thickness: 100~775um       Diameter: 8”~12”,Thickness: 100~775um
Wafer Type Si, GaAs etc.,   V-Notch or Flat
Tape Type                 Non-UV / UV tape, width: 240~300mm       Non-UV/UV tape, width:300~420mm
                Length: 100 m, Thickness:  0.05~0.2mm       Length: 100 m, Thickness: 0.05~0.2mm
Frame Type 6”&8”DISCO or K&S                                    8”&12”DISCO or K&S
Mounting Theory Patented Vacuum Mounting
Input & Output Manual loading & unloading
ESD Control ESD Wafer Chuck / ESD Ion Blower
Cutting System Adjustable Ring Cutter
Control Unit PLC with 5.7” Touch Panel Display
Power Supplier Single Phase AC 220 V, 25A
Air Supplier CDA 5.0 Kgf/cm2, 120 L/min
Dimensi*** (mm) 800(W)×1200(D)×1750(H)(exclude tower light)   800(W)×1200(D)×1750(H)(exclude tower light)
Net Weight (Kg) 350                                                          380



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