自动撕膜/手动晶圆贴膜STK-7150
半自动晶圆切割膜贴膜机STK-7150特点:
自动滚轴贴膜技术;
手动放置和取出晶圆/承载环;
自动胶膜进给和贴膜;
自动收隔离纸,适用于UV膜和非UV膜;
自动圆形切刀切割膜;
自动撕膜,自动收废膜 (选项);
晶圆台盘温度可编程控制,MAX可达120℃;
标准8”、12”晶圆台盘用于8”、12”晶圆,可配置金属台盘或高密度陶瓷台盘;
PLC控制,带7”触摸屏;
配置光帘保护功能,和紧急停机按钮;
三色灯塔和蜂鸣器用于操作状态监控;
晶圆切割膜贴膜机性能:
晶圆收益:≥99.9%;
贴膜质量:没有气泡(不包括灰尘颗粒气泡);
每小时产能:≥70片晶圆;
MTBF:>500小时;
MTTR:<1小时;
停机时间:<3%;
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