半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。跨国企业已经在国内投资设立了众多合资或独资的气体公司，占国内销售气体产品市场份额的70%左右。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。    

           近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯氯化氢已成功打开***。有的人想，空气中只有21％的氧气，吸入纯氧气对人体更有利，这是错误的。

电子气体主要包括：***、乙***、乙硅烷、***、硒化氢、四***、四氟化碳、***化三氢、***、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、氯化氢、六***、六氟化钨、六氟化硫、硫化氢、磷烷、硅烷、***、***气、氨气、电子级***等.

其中六氟化硫、电子级***、硫化氢、磷烷使用较多。

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 氙灯在使用一段时间后若发现有飘弧现象时（横向点燃），关灯后可将灯转动180°，可克服上述飘弧现象，延长灯的使用寿命。

 建议新灯使用时可工作于额定电流的70%～80%，然后根据需要逐渐增大工作电流（不得超过规定的zui大值），这样可延长灯的使用寿命。

 用于点灯的电源，其电流脉动系数一定要小于3.5%，而且越小越好，并还需保证当灯管启动瞬间的冲击电流要小，否则会对灯的电极损坏很大，缩短灯的使用寿命。

 灯用到规定的使用寿命后，应及时更换灯管。使用过程中发现灯管的泡壳严重发黑时应换灯，否则会造成泡壳温度过高，易炸灯。

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 氖气钢瓶在搬运过程中未戴瓶帽，手托瓶阀抬运或碰撞等原因，使瓶颈上或阀体上螺纹损坏，瓶阀可能被瓶内压力冲出脱离瓶颈。

 由于氖气钢瓶在搬运或储存过程中坠落或撞击坚硬物体，也能在冷状态下发生***。

 钢瓶结构、制造工艺和材质不符合安全要求，致使氖气钢瓶强度不够而引发***。

 未按规定周期进行技术检验，由于瓶壁锈蚀变薄、裂纹而导致***。