使用注意事项

1）一些用户在使用氦检漏系统时希望每个箱体一次检测多个工件，以提高检测效率。这样做会有潜在的风险。一是可能存在累积效应，即多个工件累积漏率可能超过报警点，而实际单个工件在许可范围内合格。二是一旦不合格需要单个重检，要耗费公司。每个箱体一次检测多个工件的基础在于工件的合格率在90%以上，而且工件品质较好。

2）由于氦检漏系统属于一种精密检测仪器，对使用环境要求相对苛刻。一是要求工件清洁干燥。二是要求环境温度不能过高、湿度也不能过大。

3）为保证系统使用寿命和稳定运行，系统需要定期维护。比如更换泵油、清洁管道、更换配件等。条件不具备时，须请厂家技术人员作定期保养。

结语

综上所述，氦质谱检漏技术作为一种新型的检漏技术，精度高、、清洁环保。

真空设备制造过程中的检漏

在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先组焊完内层室壁并检漏，确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理，对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先对室壁做严格检漏，然后才能包覆外层结构。

在条件允许情况下，所有真空法兰与其接管（包括真空室体法兰与室体壁）均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰，即便在安装调试阶段可能满足了密封要求，但在设备使用过程中，受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，从而导致法兰变形和密封性能下降。

加工制造过程中，严格执行真空作业卫生和作业规范，对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后，需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面，应该具有保护措施，严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时，更应精心作业，尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。

不同真空范围内的抽气时间计算

高真空-超高真空领域的抽气时间计算

这里所指的高真空至超高真空领域，是指真空度在0.2Pa以下，对于高真空领域，要充分考虑容器壁以及容器内物体的气体放出，因此，抽气时间和抽气速度的计算方法和低真空领域不同。

p(t)———到达压强；

Se———实际抽气速度；

Ql———腔体漏气量；

Qg(t)———腔体内部放出气体量；

p0———初期压强。

气体的放出量Qg(t)随着时间t而减少。计算开始时，假定一个抽气时间，根据当时的放气量来求得到达的真空度。如果计算结果p(t)和所需的真空度不一致，则重新假定时间，根据新假设时间的气体放出量再次计算。不断重复，终让p(t)在所需的真空范围内。

高真空领域的抽气时间计算远比低真空领域复杂。真空腔体的内表面经过酒精清洗和150～200℃烘烤处理的两种情况下，后者的气体放出会减少10%左右，因此使用同样的抽气泵所能到达的真空度也会更高一些。

真空腔体内的部件形状和材质也极大地影响到达的真空度和抽气时间。如果使用了树脂类材料，则到达的真空度会比单纯考虑金属表面的气体放出要差2～3个数量级。内部使用螺钉时，螺纹部残留的气体随着抽气时间缓慢放出。为了加速螺纹部的气体放出，要在螺钉中心穿孔，或在螺纹侧面开一个出气孔。因此，内部构造越复杂，影响真空的因素就越多，要获得高真空，设计上就更需要经验。

不锈钢焊接中存在的问题

不锈钢材料的耐腐蚀的性能和耐高、低温应用的性能都是很好的，但是经过焊接后的不锈钢焊缝及其热影响区的情况就大为不同了，它存在着裂纹、气孔、脆化、晶粒粗大的现象。因此，在制造超高真空和一般的高真空容器时，必须十分重视这个问题。

奥氏体不锈钢在焊接中及焊接后存在的问题主要有:

(1)焊缝中的热裂缝。奥氏体不锈钢焊接工艺中应该注意的问题是焊缝金属的热裂缝(图3-3)，在焊接热影响区的晶界上析出铬的碳化物以及产生焊接应力。

真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）

(a)焊缝中的纵向裂缝; (b)焊缝中的横向裂缝; (c)焊縫中弧坑裂缝;(d)热影响区内的横向裂缝; (e) 热影响区内的纵向裂缝

热裂缝也称为结晶裂缝，是在焊接熔池的一次结晶过程中，当焊缝金属处于固-液体状态时形成的，它们是由于相邻的晶体沿晶间夹层被分开的结果。