为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

1. 极限压力合格，升压率不合格

极限压力合格说明设备没有明显漏点，且真空系统的抽气性能正常。升压率不合格，主要原因是从粗抽阀到炉体有一些较小的漏点，通常在1×10-9~9.9×10-4Pa·m3/s之间。检漏步骤为：

①用力按压气袋从粗抽阀开始向炉体方向喷吹氦气，遍针头移动的速度可以快些，对设备的全部焊口、法兰连接、动密封、热电偶连接等处进行检漏，在焊口不规整及法兰连接缝隙不均匀处将喷吹移动速度放缓并进行细致检查。

②不按压气袋，用针头缓慢地对位置进行检查，漏孔会吸入针头中存有的少量氦气，观测检漏仪屏幕漏率值喷吹过程中的变化，找到漏率大且上升快的点即是漏点。

③向各个加热电极、炉体水套等通水腔体内喷吹氦气检查泄漏情况。若检漏多遍后升压率仍不合格，可以用塑料布、胶带对的焊口、法兰连接处、热电偶、电极等处进行包裹罩封，然后向罩中喷入氦气，观察检漏仪的漏率变化，如果缓慢上升，说明被包裹的位置存在漏点。

检漏技术的发展

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速地找到漏点，关系到企业的生产效率与经营成本。

检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术，多年来，人们创造了很多检漏方法。

上世纪四十年代以前的技术非常简单，比如气泡法、电离计法等。当时，漏率高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。

后来，经过不断的完善与提高，在1950~1960年代，研制者朝着提高灵敏度的方向努力，使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。

然而实践证明，单一追求高灵敏度并非合适，这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来，人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。

当今常见的氦质谱检漏仪，灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为***的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪，一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。

这些技术上的进步，使检漏工作的效率和便利性得到很大提升，应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）

不锈钢超高真空容器的焊接

A焊接结构设计

超高真空不锈钢容器焊接的结构设计原则为:

(1)尽可能地减少真空容器表面上的焊缝和焊缝长度。

(2)所设计的真空容器上的焊缝应尽量从容器的内表面上焊接，并尽量采用在焊接中焊缝气孔少、不产生冷热裂纹和不加焊丝的气体保护焊一等离子弧焊、 钨极氢弧焊、电子束焊等焊接方法。

(3)焊缝结构应不影响真空容器内表面的精加工( 达到高的表面光洁程度)。

(4)焊缝结构应便于精加工后的清洗处理。

(5)焊缝结构应设计成便于用氦质谱检漏仪进行检漏的结构。

真空严密性试验技术指导（汽机定期试验）

1、操作危险点、安全措施和注意事项（按工作顺序填写与执行）：

试验时，如真空下降至85kPa或低压缸排汽温度超过57℃，应停止试验，启动真空泵运行，恢复正常运行方式。

试验时当凝结水温度大于45℃时，应及时通知化学注意精处理运行情况。当凝结水温度大于50℃时，应及时通知化学退出精处理运行。

2、试验方法及步骤

得值长令，##号机组真空严密性试验。

确定 ##号机组负荷大于80%，运行正常。

确定 ##号机组凝汽器真空应大于90kPa以上。

确定真空泵良好，维持二台运行，一台作备用。

确定有关真空数值（就地、LCD及DEH）显示均正常。

解除机组协调控制，且锅炉燃烧稳定。

记录机组负荷、凝汽器排汽温度、凝结水温度、真空等有关数据。

解除备用真空泵的联锁。

关闭两台运行真空泵入口碟阀，并停止两台运行真空泵，30秒后开始记录，每30秒记录一次真空值。

8分钟后试验结束，立即启动两台真空泵运行，检查入口碟阀联开正常。

取其中后5分钟内的平均值算出真空平均下降速度。真空严密性试验结果（ ）kPa/min，试验结果（ ）。

试验结束，汇报值长并做好凝汽器真空严密性试验结果的分析和记录。