逆流氦质谱检漏仪

该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦质谱检漏仪的工作原理。

检漏仪使用中注意事项

检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点：

①使用的电源电压要在额定的电压范围之内，电压过低仪器启动困难，且性能不稳定，电压过高会烧坏电源，严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵，应连接稳压电源(UPS)。

②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。

③检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养，保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。

氦质谱仪查漏技术介绍

氦质谱仪查漏法是一-种在线式、易操作，且灵敏度高、抗干扰的监测方法。其在各行业查漏应用中，有真空法、正压法、真空压力法、背压法等4种方法。而在各发电厂的查漏工作中，多采用真空法和正压法。发电机及压力容器、压力管道等的气密性检查多采用正压法，而汽轮机真空系统查漏则多采用真空法进行氨质谱检漏。

该方法使用的气体喷逐块、逐区域地对汽轮机真空系统各设备、各部位喷射氦气。如果某处存在泄漏点，作为检漏示踪气体的复气将随同环境中的空气被吸人，終从真空泵气水分离器排放管排出，通过监测探头在抽气器出口抽吸氦气及其他不凝性气体形成的混合气体，并通过氮质谱仪内的质谱分析功能，分析氮气分子颗粒在靶板上的物质量,判断被检位置的泄漏空气相对量17-81。

在检漏过程中，根据氦质谱仪显示屏上示数变化的情况，判断被检位置是否泄漏，及泄漏的程度。

氦质谱检漏仪开机步骤

1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。

2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。

3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。

4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。

5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。