氦检漏法

氦质谱检漏法是采用氦气作为示漏气体，由于氦气的荷质比小，在检漏过程中不受其它气体的干扰，因此，它是一种反应灵敏，能检出极微小漏孔的选择性检漏方法。它的小可检漏率为10-12Pa.m3.s-1。

运用质谱原理制成的仪器称为质谱仪。质谱仪原理是：通过其部件质谱室，使不同质量的气体变成离子并在某种场中运动后，不同荷质比的离子在场中彼此分开，而相同荷质比的离子在场中汇聚在一起，如果在适当位置安置接受器接受所有这些离子，就会得到按照荷质比大小，依次分开排列的质谱图，这就是质谱。专门设计的把氦示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。氦质谱检漏仪的原理是，当一个带电质点(正离子)以一定速度V进入均匀磁场的分析器中后，如果速度V的方向和磁场H的方向相垂直，它的运动轨迹为圆，不同质合比(m/e)的粒子在磁场中有相应的运动轨迹，这样，不同荷质比的带电粒子在磁场运动后会分开，如果在粒子运动路径中安装一块挡板将其他粒子挡掉，而在氦粒子的运动路径开一个狭缝而被接收极接收形成氦离子流。并经过放大器放大而被测量仪指示出来。检漏时，氦气进入检漏仪氦质谱室中，使仪器发生灵敏的反应，产生检漏的作用。

由于空气中氦气，氦质谱仪的本底电流及噪音也很少，因此可将示漏氦气的信号尽量放大而不怕空气的影响，这样可以测出极为弱小的讯号，从而检出的漏孔;由于氦气是惰性气体，具有分子小，质量轻，扩散快，穿透性强，响应快且稳定，加之不起化学作用，不污染工件，操作安全等特点，导致使用氦质谱检漏仪技术(简称氦检技术)日益受到重视而被广泛应用在空调两器生产上。

真空检漏的具体方法

为了方便说明真空检漏方法，我们以真空炉为例进行真空检漏。真空炉主要由机械泵、罗茨泵、扩散泵、前级管路、炉体等几部分组成，真空炉的生产中为常见问题是极限压力合格，而升压率不合格，或者是两者都不合格，比较少见的是升压率合格但极限压力不合格。

这种情况通常存在大于等于9.9×10-4 Pa·m3/s的较大漏点，检漏步骤为：

①用内径0.5mm左右的针头从机械泵到炉体快速的喷吹一遍，会很快发现漏点，这时发现的漏点都较大，然后应立即焊接处理或用封泥封堵，一旦封堵成功，真空度和检漏仪灵敏度会明显提高。

②第二遍检漏，进行第二遍检漏时速度要较遍慢些，重点检查表面不规整的焊口、法兰接缝处、动密封处、热电偶密封、电极、线圈、水套、各种胶圈处等部位。具体步骤与极限压力不合格、升压率合格的检漏方法相同。

综上三种问题，通过外部检漏通常都会解决，但在多遍检漏后问题若是仍然存在，我们就应该考虑是否存在内部漏点。笔者发现，内漏大多来源于各种充气阀。若要验证，可以在阀门保持关闭的状态下，将阀门的保护气体一端法兰打开一缝隙，充入氦气检查是否漏气，若不漏气，再将阀门连接好后立即充入保护气体到管路中，如果这时检漏仪漏率值上升，那么就可以确定充气阀泄漏是真空指标不合格的原因。

检漏技术的发展

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速地找到漏点，关系到企业的生产效率与经营成本。

检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术，多年来，人们创造了很多检漏方法。

上世纪四十年代以前的技术非常简单，比如气泡法、电离计法等。当时，漏率高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。

后来，经过不断的完善与提高，在1950~1960年代，研制者朝着提高灵敏度的方向努力，使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。

然而实践证明，单一追求高灵敏度并非合适，这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来，人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。

当今常见的氦质谱检漏仪，灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为***的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪，一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。

这些技术上的进步，使检漏工作的效率和便利性得到很大提升，应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。

汽轮机真空系统查漏范围

汽轮机真空系统相关的设备、部位较为繁杂，且现场分布广，部分设备、部位的安装位置差，影响真空泄漏点的查找。应根据机组的自身特点及具体的泄漏程度，从以下各方面或有重点地开展检漏工作。

（1）低压缸部分:低压外缸中分面、人孔门、防爆膜及前、后轴封等。

（2）给水泵汽轮机部分:给水泵汽轮机中分面、人孔门、防爆膜、轴封及排汽管上的排汽蝶阀、法兰面、波纹膨胀节等。

（3）凝汽器及相连的负压系统:凝汽器本体,与凝汽器本体相连的低压旁路、三级碱温器,各疏水扩容器，低加、轴加，低加进汽管及真空破坏门、水位计、联箱等设备及附属管路、阀门等141。

（4）凝结水泵及人口区域:凝结水泵的轴端机械密封损坏或轴端密封水工作异常，或人口区域阀门、滤网、波纹膨胀节等泄漏，造成凝结水溶解氧含量超标。

（5）微正压部位:中低压连通管法兰、膨胀节，部分低压加热器及相应的疏水、排气管道等部位，在低负荷时会呈现负压状态，导致空气被该区域的泄漏点吸人。