真空设备设计中的注意事项

1、根据设备的工艺要求，确定真空设备的总的大允许漏率，并依据这一总漏率确定各组成部件的大允许漏率。

2、根据设备的大允许漏率等指标，在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法，并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。

3、根据设备或部件的大允许漏率指标，决定设备的密封、连接方式和总体加工精度，以及何种动密封形式能够满足要求。如，法兰采用金属密封或橡胶密封。

4、容器结构强度设计时，考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。

5、选择零部件结构材料时，考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。

6、结构设计时，在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口，以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统，通常需要采用分段检漏方法，因此在管路上要设置分段隔离的阀门，并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。

7、零件结构设计时，尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式，因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚漏。从而延长系统抽气时间，干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。

8、与此类似，结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏；而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时，“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无法正常检漏。

9、焊接结构设计时，尽量减少总装后无法检漏的焊缝

真空系统不严密的主要原因一般是真空系统的泄漏造成的。

真空系统泄漏主要是由于系统内有管道法兰或仪表接口松动，密封垫破损或焊口裂缝造成空气被吸入产生的。而漏入真空系统的空气一般都会通过真空泵抽出，排到大气中。氦质谱检漏仪真空查漏法，正是利用了这一点，在我们怀疑的泄漏点处喷氦气，在另一边，也就是真空泵的排气口处安排人员将氦质谱检漏仪的吸架设好，“守株待兔”。如果该处怀疑的泄漏点真的泄漏，那喷在漏点处的氦气就会被吸入系统，进入凝汽器并被真空泵抽出，通过真空泵的出口排出来，架设在真空泵出口的吸就会捕获这些氦气，检漏仪就会识别检测出氦气分子量。

一般来说漏点越大，获的氦气分子量就越多，被检漏仪检测到的氦气分子也越多，这样就能准确锁定漏点的位置和大小。

氦质谱检漏仪真空查漏人员一般都是对系统非常熟悉的人员，因此在火电厂组织真空时都优选选择熟悉系统的运行人员。

真空应用设备哪些部位容易出现泄漏，应该如何检漏？

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标，如何快速地找到漏点关系到企业的生产效率与经营成本。氦质谱检漏仪是第二次期间快速发展起来的一种高精度检漏仪，其灵敏度高达10-15Pa·m3/s。当今常见的氦质谱检漏仪灵敏度在10-9~10-13Pa·m3/。

一、氦质谱检漏仪是如何工作的？

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。为了方便解释氦质谱检漏仪是如何工作的，我们以磁偏转型的氦质谱检漏仪为例进行说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2到达收集极K而形成离子流。利用弱电流量测设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束

真空系统是指由真空泵、真空计及各种零件通过管道以适当的方式联接，组合成能达到一定真空度要求的装置。真空系统的基本要求是都有哪些？

真空系统设计（不锈钢超高真空容器的焊接）

不锈钢超高真空容器的焊接

A焊接结构设计

超高真空不锈钢容器焊接的结构设计原则为:

(1)尽可能地减少真空容器表面上的焊缝和焊缝长度。

(2)所设计的真空容器上的焊缝应尽量从容器的内表面上焊接，并尽量采用在焊接中焊缝气孔少、不产生冷热裂纹和不加焊丝的气体保护焊一等离子弧焊、 钨极氢弧焊、电子束焊等焊接方法。

(3)焊缝结构应不影响真空容器内表面的精加工( 达到高的表面光洁程度)。

(4)焊缝结构应便于精加工后的清洗处理。

(5)焊缝结构应设计成便于用氦质谱检漏仪进行检漏的结构。