关于真空检漏

1．概漏的基本概念

真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。

漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。

虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。

气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。

可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的值数。

好的灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在佳条件下所能检测出的小漏率。对于检漏仪器来讲，灵敏度又称作仪器灵敏度。

检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的小漏率。检漏灵敏度又称作有效灵敏度。

反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。

消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。

漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量

自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践

整套使用PLC自动化控制，触摸屏显示信息流程，自动化控制流程如下：

①操作员(或机械手)将工件放置工装板上，连接工件，启动按钮，工件随流水线运行至下一工位。工件在工装板上连接，多工件接口汇总成一个接口，方便实现工件接口的自动对接，并实现了一箱多检，大大提高了氦检效率；

②工件连同工装板运行至充高压气体、抽空、充氦三合一工位，充气接头与工装板上的汇总接头自动对接，完成检大漏抽空充氦，完成后接头自动脱落，工件随流水线从真空箱前门进入，进行氦气检测，完成后箱门垂直提升打开，箱内动力辊筒启动，工件从真空箱后门出来；

③工件氦检完随线体运行出真空箱后，判断合格的、不合格的工件按图1所示分开运行至下一个工位；

④合格工件运行至回收工位，对工件内的氦气进行真空法回收，循环使用。回收工位自动接上接头，检测工件内压力小于设定值时报警，接头自动脱落合格产品下转；

⑤工件运行至下料工位，人工(或机械手)将工件取下氦检线体，空载工装板继续随线体下转至升降机，由底层输送线将工装板返回上料工位；

⑥不合格工件随线体运行至返修小屋，找出漏点返修后的空调两器随线体运行至上料工位重新按上述流程氦检。

这样就捋顺了物流，减少了工件等待时间，避免了人工搬运进出箱体。通过自动耐压预抽设备，与多个被检工件自动连接、断开，减少了人工插拔接头次数。

检漏技术的发展

检漏技术在真空领域占有非常重要的地位，它关系到真空设备的各项真空指标。如何快速地找到漏点，关系到企业的生产效率与经营成本。

检漏技术是一门不断发展、不断完善的技术，多年来，人们创造了很多检漏方法。

上世纪四十年代以前的技术非常简单，比如气泡法、电离计法等。当时，漏率高只能检测到10^-7Pa·m^3/s。

后来，经过不断的完善与提高，在1950~1960年代，研制者朝着提高灵敏度的方向努力，使灵敏度一度达到了10^-15Pa·m^3/s。

然而实践证明，单一追求高灵敏度并非合适，这会给检漏仪的生产制造带来一些麻烦。后来，人们将精力主要放在了仪器的稳定性、可靠性、小型化、简单化、检漏过程迅速化上面。

当今常见的氦质谱检漏仪，灵敏度在10^-9~10^-13Pa·m^3/s。较为***的检漏仪压力在几万Pa就可检漏。便携式的检漏仪，一个人就可以搬运。甚至有些检漏仪已经可以通过手机APP远程控制检测。

这些技术上的进步，使检漏工作的效率和便利性得到很大提升，应用氦质谱检漏仪已经成为检漏技术中的主要方法。