铀是固态，而扩散分离需要的是气体。为此, 得把金属铀变成氮化物UF6，UF6在室温下就会蒸发。一个不利的因素是，在潮湿气氛中很容易生成腐蚀性很强的和铀的氧化物，铀的氧化物又是危险的材料。这两种情况在气体扩散分离法中应当防止。

在曼哈顿计划中, 的分离是把UF6通过几公里长的多孔管道的扩散后才获得的。

对整个扩散系统的密封性要求之高是的。潮湿空气不能进入工艺容器之中。雅可比博士在当时被誉为曼哈顿计划中的橡树岭扩散工厂的总设计师。为了成功的分离出，他对真空检漏技术提出的严格的要求有

（1）新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。

（2）新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。

（3）仪表的指示能够反映出漏孔的大小, 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中, 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时,明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。

氦质谱检漏仪是一种用氦气作为示漏气体进行泄漏检测的仪器，具有性能稳定、灵敏度高等特点。在真空检漏技术中，采用的是通用型检漏仪器，具有较高的灵敏度。

氦质谱检漏仪是磁偏转式质谱分析仪。单级磁偏转换仪是一种灵敏度较高的仪器，广泛应用于检测各种真空系统和零件的漏电，具有很好的实用价值。双层串联磁偏变装置与单层磁偏变装置相比，背景噪声明显降低，其灵敏度可达到10-14~10-15Pam3/s，适用于超真空系统、元件和部件的检漏。逆电流式氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，将检件放置在检漏仪主抽泵的前级部位，因而具有在高压条件下能检漏，不会造成液氮污染和质谱室污染等特点.适用于对大漏率、真空环境卫生较差的真空系统的检漏，灵敏度可达10-12Pam3/s。

单级磁偏转型氦质谱检漏仪

在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；放大静电计管和冷阴极电离规。

在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。

可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2 ，所以被分离出来。 (me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。

背压法氦质谱检漏的简单步骤

质谱检漏实际应用中有很多具体的方法，其中背压法也是其中一种，我们来了解下背压法氦质谱检漏的几个步骤。

背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤：

首先是充压。将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放浸泡一定时间。如果被检件有漏孔，示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着浸泡时间的增加和充压压力的提高，这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。

然后是净化。用干燥氮气或干燥空气在充压容器外部或在其内部吹被检件，在不具备气源时可以静置被检件，这样做的目的是去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。这个过程中，会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失，导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长，示漏气体的分压将越大。

第三个步骤就是检漏。经过净化的被检件被放入真空室，真空室与检漏仪相连，进行检漏。抽真空后，由于压差作用，示漏气体通过漏孔从被检件内部流出，而后经过真空室进入检漏仪，根据检漏仪的输出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。