1945年以来，氦质谱检漏仪的制造工艺已经有了很大的改进。1947年，检漏仪的灵敏度均为10-4Pa.L/S；到1970年, 提高到可检测10-7Pa.L/S的漏率；而今天已能能够检测到10-9Pa.L/s的漏率。与此同时, 检漏仪的体积和质量也大大降低。90年代初，小的氦质谱检漏仪的体积只有0.05m3重约38.5Kg。新型的氦质谱检漏仪中已经没有手动阀。现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵, 以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦质谱检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴极射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。博为研发生产的新型检漏仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、制冷、家电等行业。氦质谱检漏仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用

氦质谱检漏仪性能试验方法

灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。所谓“佳工作条件”是指仪器参数调整到佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的大波动量。

如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。

浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。

折叠台式检漏仪

台式检漏仪的显著优点：

(1)适合批量测试使用：该设备包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪，大大缩短检漏周期。

(2)前级泵可选择性：可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。

(3)操作简便：自动调整、校准、回零，使得检漏操作简便可靠。

(4)运行稳定：单极开关启动或关闭，阀门，保证设备可稳定运行百万次；自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。