氦质谱检漏仪在电子行业体现在如下几个方面：

微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（4）真空行业，仪器、仪表行业

管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、、快速器、辐照快速器、镀膜机、薄膜真空计。

（5）核工业

铀分离装置、存储装置、核发电装置。

（6）制冷行业

冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。

（7）不锈钢保温器皿

真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

（8）核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、工业、电子六大类

单级磁偏转型氦质谱检漏仪

在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；放大静电计管和冷阴极电离规。

在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可计算。

可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2 ，所以被分离出来。 (me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。

氦质谱检漏仪，气密性检测仪的选择

氦质谱检漏仪(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

用于电厂检漏的氦质谱检漏仪。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。

小可检漏率: 5×10-12Pa·m3/s

漏率显围: 1×10-3~1×10-12Pa·m3/s

启动时间: ≤5min

响应时间: <2S

检漏口高压力: 300Pa

极限真空: 5×10-4Pa

外形尺寸: 560(W)×420(D)×300(H)

重量:46KG

氦质谱检漏仪调氦峰步骤

调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。

1、调氦峰方法：

开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰;如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。

2、调氦峰分辨不好：

①氦和重离子分辨差。

②氦和轻离子分辨差。

3、调氦峰信号小：

①灯丝没正对电离盒上的电子入口。

②灯丝离电离盒太远。

③分辨不好。

④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。