氦质谱检漏仪的功能特点：

1、支持正压检漏，负压检漏。

2、自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果。

3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。

4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。

5、支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底。

6、机器的性能支持长时间在线测试。

7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。

8、配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤。

9、双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击。

10、支持定制检漏工作台，更加便捷使用。

氦质谱检漏仪的工作原理

近年来由于电子工业的发展，空间探索活动的增加，检漏技术得到了快速发展，它的重要标志是将以氦为示踪气体的氦质谱检漏仪已快速地进入了各个适用的领域。氦质谱检漏仪同其它检方法相比，除检漏方法不同之外，以它的检测灵敏度高、速度快，可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒，无危险的隋性气体氦为示踪气体，使它成为今天检漏仪器当中的。

在许多科学领域和制造业中，氦质谱检漏仪已成为控制和监督产品质量的装备。尤其近几年来，电工电子产品的监督检验部门和生产厂家，制冷、汽车、航空、航天等行业强化“以质量求生存”的意识，他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时，不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。

氦质谱检漏仪开机步骤

1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。

2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。

3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。

4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。

5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。