氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

氦质谱检漏仪的工作原理

近年来由于电子工业的发展，空间探索活动的增加，检漏技术得到了快速发展，它的重要标志是将以氦为示踪气体的氦质谱检漏仪已快速地进入了各个适用的领域。氦质谱检漏仪同其它检方法相比，除检漏方法不同之外，以它的检测灵敏度高、速度快，可进行定性、定量、的检测特别是选择无破坏性、无毒，无危险的隋性气体氦为示踪气体，使它成为今天检漏仪器当中的。

在许多科学领域和制造业中，氦质谱检漏仪已成为控制和监督产品质量的装备。尤其近几年来，电工电子产品的监督检验部门和生产厂家，制冷、汽车、航空、航天等行业强化“以质量求生存”的意识，他们在将氦质谱检漏仪用于生产线和科研应用的同时，不断探索其在本行业的应用开发并积累了很多经验。

氦质谱检漏仪调氦峰步骤

调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。

1、调氦峰方法：

开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰;如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。

2、调氦峰分辨不好：

①氦和重离子分辨差。

②氦和轻离子分辨差。

3、调氦峰信号小：

①灯丝没正对电离盒上的电子入口。

②灯丝离电离盒太远。

③分辨不好。

④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。