真空设备制造过程中的检漏

在设备的加工阶段，有必要跟随加工工艺（尤其是焊接工艺）及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件，焊缝质量要严格检漏，不合格的及时重焊、补焊并重新检漏，符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工，中间过程的检漏十分关键，必要时应该设计、制造专门的检漏工具（如探漏盒、盲板等）。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体，好首先组焊完内层室壁并检漏，确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理，对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况，必须首先对室壁做严格检漏，然后才能包覆外层结构。

在条件允许情况下，所有真空法兰与其接管（包括真空室体法兰与室体壁）均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰，即便在安装调试阶段可能满足了密封要求，但在设备使用过程中，受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放，从而导致法兰变形和密封性能下降。

加工制造过程中，严格执行真空作业卫生和作业规范，对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后，需经去油清洗并及时保护将有利于提高焊缝的气密性。已经加工完成的零部件动、静密封面，应该具有保护措施，严防在存放、搬运、装配过程中发生磕碰、划伤。使用焊接波纹管、金属与陶瓷或玻璃封接件、玻璃器件等易损件时，更应精心作业，尤其避免已经通过预检漏后被损坏而产生漏孔。

自动化真空箱氦检氦检工艺的探索与实践

根据目前氦检系统的种种不足，我们优化了氦检设备布局，改善工件流水线的物流走向，把真空箱改为隧道式结构。设备主要由真空箱检漏系统；充高压气体、抽空、充氦三合一装置；空调两器输送线；回收系统；电器控制系统等组成，具体构成如下：

真空箱检漏系统主要由检漏仪、真空箱体、真空泵组、真空测量装置、真空阀门、气动开门装置、安全光栅、不锈钢管道和机架等组成。

充高压气体、抽空、充氦三合一装置和回收系统主要由电磁阀、真空泵、储气罐、压缩机、压力和真空测量装置以及管道等组成，能对工件进行大漏检测试验，并进行充氦回收等处理。

空调两器输送线主要由铝型材、三倍速链条、驱动电机、升降机、辊筒、工装板等组成。

如何判断真空系统是否存在真实的泄漏

压降曲线分析

真空系统的历史数据是了解大型真空系统性能的有价值的工具之一，经验丰富的技术人员会精心地保留历史数据，通过将当前的压降曲线与系统处于良好状态时的上一个循环进行比较就可以快速的判断问题原因。比如，通过下图所示的压降曲线，就可以判断是否存在泄漏。

工艺条件不变并且真空泵运行正常的情况下，如果存在真实的泄漏，从外部漏入腔室的气体将导致腔体的压力下降到比正常极限压力偏高的位置时便不再下降或下降极慢，压降曲线类似于上图上方曲线。存在放气或虚漏时，气体缓慢释放并且放气率越来越小，系统能达到原来的极限压力但是达到极限压力的时间明显变慢，压降曲线与上图中间那条曲线类似。

真空检漏技术

一、真空系统的漏气

1.漏气的定义

真空系统不可能不漏气，但符合以下条件可视为不漏气：

（1）真空系统的终压力可以达到；

（2）在正常操作时间范围内，真空系统可以达到并维持预期的压力范围。

2.漏气的判定

当真空系统操作时不能达到预期的压力范围，或者操作时间超过正常操作时间才能达到预期的压力范围，此时常被怀疑为漏气。但这有可能是真空室器壁吸附的气体被释放出来造成的，此即为假漏。因此，需要在检漏之前判断真空系统是否为假漏。

常用简单判断假漏与真漏的方法为：将真空系统停止抽气，然后观察真空计的变化。若真空计压力一直上升，则为真漏；若压力上升到一定值后停止不变，则为假漏。