氦质谱检漏仪在电子行业体现在如下几个方面:
微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。
(4)真空行业,仪器、仪表行业
管道、接头、阀门、波纹管、各种真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速暴光机、激光轴分离器、、快速器、辐照快速器、镀膜机、薄膜真空计。
(5)核工业
铀分离装置、存储装置、核发电装置。
(6)制冷行业
冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、压缩机、低温储槽。
(7)不锈钢保温器皿
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
(8)核工业、航空工业、航天工业、船舶工业、工业、电子六大类
怎么样影响氦质谱检漏仪检测精度
稳定时间对检测的影响
在充气的时候,压缩空气会因为受压状态而进入一个密闭容器后,引起一系列的热力学-动力学变化。即当一定体积的压缩空气迅速移至一密闭容器后,其压力会发生降低,若此时进行测量,则这种压力的变化会被视作一个由泄漏所引起的压力变化,影响测量结果的准确性。这种“冲气效应”受充气压力、测试容积及测试件材料影响。当充气压力或测试容积增加时,这种充气引起的压力降低随之变得明显。解决这个问题的办法之一是在充气与测量之间增加一段稳定时间来消除这种影响。
检漏仪使用中注意事项
检漏仪在使用过程中需特别注意以下几点:
①使用的电源电压要在额定的电压范围之内,电压过低仪器启动困难,且性能不稳定,电压过高会烧坏电源,严重时还会烧毁母板的电路板和分子泵,应连接稳压电源(UPS)。
②仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中,若搬动检漏仪,容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。
③检漏仪应按照说明书的要求定期进行保养,保养的项目有更换机械泵油、更换过滤网、更换过滤器。
氦质谱检漏仪性能试验方法
反应时间、清除时间及其测定
反应时间是指仪器节流阀完全开启,本底讯号为零(或补偿到零)时,由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到大值的(1-e-1)倍(即O. 63)所需要的时间,记为τR。清除时间是指输出仪表讯号稳定到大值后,停止送氦,其讯号下降到大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间,记为τC。
工作真空、极限真空及入口处抽速
质谱室极限真空,尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。
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