氦质谱检漏仪的基本原理及主要组成部分：氦质谱检漏仪的性能、特性好坏取决于质谱分析室。质谱分析室的工作原理是对离子源气体进行电离，电离出来的正离子经过电场加速聚焦通过缝隙进入均匀磁场，离子束在磁场力的作用下，旋转180o或90o按一定轨迹到达收集极，此种形式称之为磁性偏转分析形式。然后，经小电流放大器、微处理器，控制器等线路处理直至液晶屏显示出读数的大小。很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用下，流进或流出这个空间，如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。这些对密封性有要求的产品或设备，在投入使用前，就要***行检漏，使用过程中也要定期利用氦质谱检漏仪进行检漏检查。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。

检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成，而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。近年来由于电子工业的发展，空间探索活动的增加，检漏技术得到了快速发展，它的重要标志是将以氦为示踪气体的氦质谱检漏仪已快速地进入了各个适用的领域。 氦气在空气中含量非常少，只有5ppm（空气中占约1/200，000）；在被测试的物体内部所残留的空气中的氦气含量也非常少；由于氦分子量小、分子直径小（在元素周期表中在仅排在氢的后面），即便是极其微小的渗漏孔也能方便地通过；由于具有化学上的不活跃性，不会污染排气系统及被测试物体， 由于具有对人体无害性和不可燃爆性，因此使用安全方便； 对分析管的分辨率要求并不高，容易实现高灵敏度；不存在环境污染问题。质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是氦质谱检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。

氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。 泄漏的检查，存在着各种各样的方式，其中之一便是使用氦质谱检漏仪的检查方式。利用氦气作为示踪气体，来对各种容器的泄漏、微漏和渗漏(包括材料本身的)进行检测。使用氦气进行检漏是考虑到氦气具有以下一些优点：（不用氢气，因为氢气有可燃可爆的危险性）背压法氦质谱检漏：采用背压法检漏时，首先将被检产品置于高压的氦气室中，浸泡数小时或数天，如果被检产品表面有漏孔，氦气便通过漏孔压入被检产品内部密封腔中，使内部密封腔中氦分压力上升。然后取出被检产品，将表面的残余氦气吹除后再将被检产品放入与检漏仪相连的真空容器内，被检产品内部密封腔内的氦气会通过漏孔泄漏到真空容器，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率测量。检漏仪给出的漏率值为测量漏率，需要通过换算公式计算出被检产品的等效标准漏率。

背压法的优点是检测灵敏度高，能实现小型密封容器产品的泄漏检测，可以进行批量化检测。背压法的缺点是不能进行大型密封容器的漏，否则由于密封腔体容积太大，导致加压时间太长。此外，每个测量漏率都对应两个等效标准漏率，在细检完成后还需要采用其它方法进行粗检，排除大漏的可能。有两种方式可以检测出泄漏：1. 示踪气体 A 放在容器里面，处于正压，然后用仪器去检测，容器周边是否有气体 A，如果容器外有气体 A，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫 Sniffer 检漏或正压检漏。2. 示踪气体 A 喷在容器外面，用仪器去检测容器里面是否有气体 A。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫真空检漏。正压法氦质谱检漏：采用正压法检漏时，需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中，再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量，从而实现被检产品泄漏测量。