氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，定位准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。真空测量仪的探头和外壳之间用密封剂密封，在检测中容易被忽略。如果这里有泄漏，可以用灌胶处理，但是探头间距很小，操作空间有限。

氦质谱检漏仪主要由离子源、分析仪、收集器、冷阴极电离规、抽气机、电子元件等组成。它是由灯丝、离化室、离子组成的离子源。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。氦质谱检漏仪检测灵敏度高，反应速度快，定位准确，在压力容器中得到了广泛的应用。宇航、原子能、发电厂、制冷工业。

如果装有液体或气体的容器内外有压差，就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏，后果严重，一般会造成有效材料的浪费，如有毒材料和腐蚀性气体泄漏，甚至导致事故。具有一定速度的离子在均匀磁场中以圆轨运动。逆流氦质谱检漏仪的结构特征。这类仪表是基于与不同气体类型有关的油扩散泵或分子泵的压缩比而制作的。氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。

如果没有每天使用氦检漏设备，建议每周通电一次，以便在高真空系统中保持真空，缩短氦泄漏仪的通电时间。氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏；使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。