氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。氦质谱泄漏检测技术是真空泄漏检测领域不可缺少的技术。由于泄漏检测、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其他气体的干扰。氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。

氦质谱检漏仪是一种偏磁质谱仪。单级磁偏转转换仪的灵敏度为lo-9~10-12pam3/s，广泛应用于各种真空系统和元件的检测。氦质谱检漏仪的基本原理是，不同质荷比的离子在磁场中运动时，其偏转半径不同，从而实现不同类型离子的分离。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。

氦检漏设备的维修注意事项：在安装过程中，应避免安装部位泄漏，并且可以自己检查，氦检漏设备维护，泵定期保养。氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏；使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。掌握和了解检漏仪常见故障的维修技术，有利于检漏工作的顺利进行和设备的维修，也可使使用者能够及时解决或避免某些故障或现象。