精密加工技术 :
从1963年开始计划,但直到2004年才发射了一个利用陀螺仪的测量装置——引力探测器,用于检测地球重力对周围时空影响。其中陀螺仪的***部件——石英转子(38.1毫米)的真球度达到了7.6纳米,若将该转子放大到地球的尺寸,要求地球表面波峰波谷误差仅为2.4米,如此高的加工精度可以说将超精密加工技术发挥到了极限。在同一次装置中停止的多道工序,应先布置对工件刚性毁坏小的工序。
形状也从球形向非球面乃至自由曲面发展,这对超精密加工设备、工艺及检测技术提出了新的要求。制造技术要求控制工件表层及亚表层的损伤及组织结构、应力状态等参数,为超精密加工技术提出了新的发展方向。微纳结构功能表面的超精密加工技术得到重视。作为定位基准的表面(或线、点),在道工序中只能选择未加工的毛坯表面,这种定位表面称粗基准。微结构功能表面具有特定的拓扑形状,结构尺寸一般为10~100微米,面形精度小于0.1微米.
例如,激光核聚变点火装置需要7000多块400毫米见方的KDP晶体,如果没有超精密加工工艺,加工时间无法想象。超精密加工技术将向方向发展。2、划分加工阶段:机械加工质量请求高的外表,都划分加工阶段,一般可分为粗加工、半精加工和精加工三个阶段。大到10米口径的天文望远镜反射镜、小到数微米的微结构特征的加工都需要超精密加工设备及工艺的支持,自由曲面光学曲面精度要求高、形状复杂,有的甚至无法用方程表示.
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