吸附性过滤—活性炭　活性炭是一种多孔性的含炭物质, 它具有高度发达的孔隙构造, 活性炭的多孔结构为其提供了大量的表面积，能与气体（杂质）充分接触，从而赋予了活性炭所特有的吸附性能，使其非常容易达到吸收收集杂质的目的。就象磁力一样，所有的分子之间都具有相互引力 缺点：普通活性炭并不能吸附所以的有毒气体，效率较低、易脱附。

机械性过滤—HEPA网　HEPA(High efficiency particulate air Filter)，中文意思为空气过滤器，达到HEPA标准的过滤网，对于0.3微米的有效率达到99.998%，HEPA网的特点是空气可以通过，但细小的微粒却无法通过。HEPA过滤网由一叠连续前后折叠的亚玻璃纤维膜构成，形成波浪状垫片用来放置和支撑过滤界质。光催化法 　工作原理：空气通过光催化空气净化装置时，光触媒在光的照射下自身不起变化，却可以促进化学反应的物质空气中的有害物质如甲醛、苯等在光催化的作用下发生降解，生成无毒无害的物质，而空气中的细菌也被紫外光除掉，空气因此得到净化。 缺点：广谱但需要空气流速较低，净化速度比较慢并且对人体有一定的辐射，在欧美是被汰的净化方式。

温度测试是确认空气处理设施的温度控制能力，温度测试应在净化车间进行调试，气流均匀性测试完成，并在净化空调系统连续运行24H以上后进行。净化车间的温度测试有功能温度测试和一般温度测试。功能温度测试主要用于需严格控制温度精度时或建设方要求在“静态”或“动态”进行测试时应用;一般温度测试主要使用于“空态”时温度测试。

对于净化车间的构造来讲，照明灯具的成本不会超过总预算的1%，而照明的能源成本与净化车间的hvac以及制程设备的功率需要相比较可以说是很小的，因此净化车间的照明焦点便变成适当的照明度，与空气供应系统相互协调，同时对安装在该空间内特定的环境与制程的污染降低。很多净化车间的表面具有很高的反射性，大部分的天花板，墙面，地板表面均光鲜亮丽，尽管这样，材料颜色的选择仍在考察中，便于改善使用者的环境。在净化车间的设计结构中，照明系统使用常见的是荧光灯，因其能源，使用寿命长，维护成本低，