真空的基本概念真空技术中,“真空”泛指在给定的空间内,气体压强低于一个大气压的气体状态,也就是说,同正常的大气压相比,是较为稀薄的一种气体状态。真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。根据真空技术的理论,真空度的高低通常都用气体的压强来表示。在国际单位制中,压强是以帕(Pa)为单位1Pa=1N/m2。另外常用的单位还有托(Torr)、毫米柱(mmHg)、毫巴 (mbar)、工程大气压(公斤/厘米2)等。
真空度,图一显示了间隙击穿电压和气体压强之间的关系。由图可以看到真空度高于10-2Pa(10-4托)时,击穿电压基本上不再随着气体压力的下降而增大,因为气体分子碰撞游离现象已不再起作用。当气体压力从l0-2Pa逐步升高时(真空度下降),击穿强度逐渐下降,而在接近1托(102Pa左右)低,以后又随气压的而。从曲线上可以看出真空度高于10-2Pa时其耐压强度基本上保持不变。这就表明,真空灭弧室的真空度在10-2Pa以上时完***够满足正常的使用需求。
电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的控制。当泵出现故障时,泵能自动停车,两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器,以提供所需的电流电压,以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器,有按钮控制,可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀,第二、三、四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主按钮操作。
版权所有©2025 天助网