真空干燥时物料的脱水是依靠热传导将外来热量传递给被干燥物料的，而在低气压环境下，用对流方式进行热传递速度较慢，妨碍了真空干燥优点的发挥。微波干燥是利用介电加热原理，依靠高频电磁振荡来引发分子运动，使被加热物发热，加热方式有别于传统的对流、传导与辐射，系微波直接对物体进行加热，传热这一限制因素被打破。

       微波真空干燥把微波干燥和真空干燥两项技术结合起来，充分发挥各自优势，在一定的真空度下水分扩散速率加快，可以在低温条件下对物料进行干燥，较好地保持了物料的营养成分。微波可为真空干燥提供热源，克服了真空状态下常规热传导速率慢的缺点，因而大大缩短了干燥时间，提高了生产效率。

       用微波照射过的点心和食品，其保鲜期可以延长。特别是点心切片后切面会污染，若在包装物的外部照射一下，有防霉的效果。甚至将点心用塑料袋装后再集中一批装入纸箱前 ，经过传送带再用微波照射一下，也有很好的效果。此外，除了适应微波照射，点心的包装材料也要适当变化一下。防霉、杀菌装置若是小批量可以用一般的微波炉即可（当然尺寸要稍大）。但对于大批量、大容量，建议选用微波炉，以保证加热温度均匀。

      微波电能转换而来开通电源即开始工作需要预热无余热产生而且微波设备结构紧凑配套设施少、占地少（仅传统干燥设备占地面积20%~30%）操作方便连续作业便于自动化生产和企业管理（通过PLC编程控制及通过监视器观察干燥全过程40℃~100℃之间任意调节温度）据文献报道微波干燥比烘箱干燥速度快10～20倍。

      通常用微波干燥250～300千克丸药耗电仅83千瓦能源利用率达70%比较研究显示用电热干燥某物料耗电100千瓦而用微波干燥同种等量湿物料耗电仅20千瓦而且微波设备几乎无环境和噪音污染加工车间内无闷热感和蒸气弥漫大大改善工作环境。