




钝化液配方热解法淀积三氧化二铝膜的性质与衬底温度关系很大。如在250℃时淀积,薄膜与衬底粘附性差,易于刮去,如在400℃时淀积,则膜与衬底粘结良好。热解淀积三氧化二铝薄膜的装置示于图5-4。用干氮通过170℃的AI(OC3H7)3蒸发器,AI(OC3H7)3蒸气压为50毫米柱,然后与大量的氮气混合,进入钟罩反应室,气体混合物产生热解反应生成三氧化二铝膜。一般淀积温度为420。C,典型的淀积速率为200埃/分,如在淀积时同时通入氧气,则淀积速率将降低。
三价铬钝化液参考配方铬在自然界以二价到六价的氧化态存在。但是,只有三价和六价铬有足够稳定性,可以实际用于电镀生产。传统的钝化液通常是由六价铬化合物、三价铬化合物、导电盐、络合剂等组成。由于六价铬钝化液具有操作简单、成本低廉、控制简便,形成的钝化膜色彩鲜艳,耐候耐磨性能突出,且自身具有自修复功能,因而被大量地采用。
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