洁净厂房的安全出口设置,应符合下列规定

洁净厂房的安全出口的设置，应符合下列规定：1．丙类生产的电子工业洁净厂房，在关键生产设备自带火灾报警和灭火装置以及回风气流中设有灵敏度严于0.01%obs/m的高灵敏度早期火灾报警探测系统后，安全疏散距离可按工艺需要确定，但不得大于规定的安全疏散距离的1.5倍。2．工厂装修时要给每一生产层、每个防火区或每一洁净室的安全出口数目，应符合现行***《洁净厂房设计规范》的有关规定。3．安全出口应分散布置，并应设有明显的疏散标志；安全疏散距离应符合现行***《建筑设计防火规范》的有关规定。安全疏散用门应向疏散方向开启，并应设观察玻璃窗.

半导体净化车间设计的设计范围

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗,密封性能好

洁净室的门窗造型要简单、平整、不易积尘、易于清洗，密封性能好。门窗不应采用木质等引起微生物繁殖的材料，以免生霉或变形。门窗与内墙宜平整，不应设门槛，不留窗台。洁净室内的门宽度应能满足一般设备安装、修理、更换的需要。气闸室、货淋室的出入门应有不能同时打开的措施。洁净厂房每层高度应满足洁净室操作面净高和技术夹层布置管线要求的净空高度。需在技术夹层内更换过滤器的技术夹层墙面、顶棚宜刷涂料饰面。

洁净室建筑之外单独建立机房

在洁净室建筑之外单独建立机房，但其离洁净室很近。机房要注意隔振、隔音问题，地面应全部做防水处理，并有排水措施。隔振：应在振源的风机、电机、水泵等的支架、底座作防振处理，甚至有必要的话将设备安在混凝土板块上，再用防振材料支撑该板块，该板块的重量应为设备总重量的2～3倍，。隔声：除去系统上安装消声器外，大型机房可考虑在墙壁上贴附有一定吸声性能的材料，要装隔声门，切忌在与洁净区的隔墙上开门。