半导体净化车间设计的设计范围

半导体净化车间设计的设计范围包括：装修方案（围护、地面防水保温处理），暖通方案（空调设备、风管、水管等），特气供应方案（特气柜含保险控制、房间气体监测、EP级管道及BA管道、供气管路尾气处理），压缩空气方案，废气处理方案（仪器设备POU处理、房间排风废气处理），电气方案（空调设备动力配电等），弱电工程，集成控制智能平台，纯水方案（冷却水、去离子水、超纯水、水管等），废水处理。

电子制造厂万级洁净室内的噪声级

电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)；电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa；电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的值：补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室

工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时，应设气闸室。空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施。单人空气吹淋室，应按班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门。不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。