洁净室(区)内设置真空泵时,应符合下列规定

洁净室（区）内设置真空泵时，应符合下列规定：1．电子工厂装修对于传输、自燃化学品或高浓度氧气的真空泵，应采用不燃泵油，并应配置氮气吹扫。氮气吹扫控制阀应与生产工艺设备操作系统联锁。2．对传输含有可燃气体的真空泵，可燃气体浓度超过下限的20%时，应设尾气处理装置，在排入排气系统前应去除或稀释可燃气体组分。3．使用油润滑的真空泵应设置除油装置，除油后尾气应排入排气系统。

洁净室设在外围,而走廊设在内部,这种走廊的洁净度级别一般都较

内廊式：洁净室设在外围，而走廊设在内部，这种走廊的洁净度级别一般都较高，甚至和洁净室同级。两端式：洁净区设在一边，另一边设准洁净和辅助用房。***式：为了节约用地、缩短管线，可以洁净区为***，上下左右被各种辅助用房和隐蔽管道的空间包围起来，这种方式避开室外气候对洁净区的影响，减少了冷热能耗，利于节能。为了在操作中尽量减少人活动产生的污染，人员在进入洁净区之前，必须更换洁净服并吹淋、洗澡、消毒。这些措施即“人身净化”简称“人净”。

涂料地面的特点有哪些?

涂料地面。总特点是：具有水磨石优点，耐磨，密封性好，有弹性，施工复杂。材料：在环氧树脂、聚酯树脂、聚氨酯树脂中加入颜料，硬化剂而成，水泥砂浆基底的水泥标号不低于425＃。卷材板材地面。总特点是：光滑，耐磨，略有弹性，不易起尘，易清洗，施工简单，易产生静电，受紫外线照射易老化，因与混凝土膨胀系统不相同，用于大面积易于起壳。耐酸磁板地面，总特点是：耐腐蚀，但质脆经不起冲击，施工较复杂，造价高，适用于有耐腐要求的区段，并宜用挡水线围起来。