电子厂净化车间（洁净室）是洁净度等级在10万级标准以上的洁净工程车间，首要抑制空气浮尘微粒对工作上对象的空气污染，内部必须保持正压状态。电子厂净化车间适用于电子、微电子、半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等，主要运用在精密仪器、手机背光源、芯片生产、集成电路、磁盘制造车间、显示屏等行业。当这种夹层的底板可承受一定重量时，可以在上面设置过滤器及排风设备等。

工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。而无尘车间的使用，可以不论外在的空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等。

无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

    无尘车间内的机器设备规定按时、定时执行、定岗定责开展清理维护保养，清理中常用的原材料和清理液體是不是符合洁净室管理方法的要求等。无尘车间内的工作人员要严格执行无尘车间的实际操作标准来工作中。无尘车间的窗门应是随时随地处在关掉情况的，无尘车间和非无尘车间中间人员和物件的传送应有堆栈，并有风浴机器设备来阻拦气旋的热对流，与制造不相干的人员不行进到无尘车间。人到进无尘车间前是不是换衣吹淋，衣着是不是符合清洁管理制度的规范，一些生产工艺流程***的对洁净度等级规定高的人员在进到前也要开展浴池；8、原物料进无尘车间车间时，需先在外面拆箱及拭净，并置于货物风淋室携入无尘车间。物在进无尘车间前是不是拆换包裝吹淋，拆换后的原材料是不是符合洁净室规范这些。