工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。无尘车间的平面布置可以有以下几种方式：外廊环绕式：外廊可以有窗和无窗，兼作参观和放置一些设备用，有的在外廊内设值班采暖。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。　湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。

无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。

无尘车间装修工程的竣工验收合格，并经核实批准后，按建造方要求进行功能验收，功能验收是在“静态”进行测试，其主要测试内容如下：

1、检测空气洁净度等级，按照车间生产需要的等级标准。

2、生产工艺有特殊要求，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;

3、洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试。

4、检测自净时间24小时都可以达标。

5、检测洁净室(区)的密闭性测试。

6、测定照度是否符合生产要求。

7、测定噪声级是否达到要求。

8、需要时，确认和记录气流形式和换气次数。

9、建设方需要进行的其他检测项目。