PVD硬质薄膜涂层工艺介绍PVD涂层传统上沉积在切削工具和成形工具上以延长工具的寿命。PVD涂层种类繁多，可选择具有极高硬度（2000–3500Hv）的涂层；涂层的选择取决于应用。涂料具有不同的性质，如硬度，化学成分，颜色和摩擦系数。PVD涂层工艺基本上是高真空室内的原子等离子喷涂处理。该过程在高温（高达450°C）下进行，并且是“视线”操作。沉积的普通涂层是氮化钛（TiN），碳氮化钛（TiCN），氮化铬（CrN）和氮化铝钛（AlTiN），它们的许多变体也是可用的。所有类型的工具都可以进行涂层，包括铣削，钻孔，冲压，穿孔，成型，齿轮切削和冲孔。所有高速钢，硬质合金和许多其他工具钢都可以涂层。PVD涂层通常厚度小于6微米，并且与涂层表面的纹理完全一致。首先检查要涂覆的工具或部件，以确保涂层的适用性，然后使用自动多步骤工艺清洁，以确保它们在物理和化学上清洁。这对于涂层操作的成功至关重要。

电弧增强辉光放电刻蚀这个模块的设计原理和溅射刻蚀模块的设计原理相似(图8。取代在基底背面的磁控系统的是与空心阳极底部结合的电弧蒸发器，电板蒸发器利用挡板与基底隔开。在基底附近的附加电极收集来自挡板后面的电弧等离子体的电子。这些电子在基底附近产生一个强且宽的等离子体。等离子体的密度可以轻易地利用蒸发器的电流和附加电极来控制。在操作中，与在反转磁控溅射情况下相同的直流或中频电源可以用于提供空心阳极的偏压。在初步的试验中，已经发现对于钢带的刻蚀率在12nm/s的级别内，并且仅使用了溅射刻蚀模块所需偏压电源的一半。

连续钢带镀膜的试验型生产线为了实现如前面章节所描述的联合工艺的新型镀膜概念，一条具有模块式结构包含很多新镀膜技术的用于钢带连续处理的试验型加工生产线被几个合作者(工业的和科研的团体)的联营企业安装在DOC。这条试验型生产线的目的是用于为钢带特别研发新型镀膜系统和工艺。所有的工艺模块是按走带速率达到60M/MIN和带宽达300MM设计的。这样就可以获得有价值的经验，以便把这些工艺升级到工业规模。在具有全长接近80M的试验型生产线上实现和结合的不同的新镀膜技术显示在图5中。PVD工艺技术是被凡阿那研究所和夫琅和费金属与电子技术协会通过紧密合作来研发和实现的。