众所周知，镀钛是在高温，真空钛金炉内，钛、锆金属。借用惰性气体的辉光放电使金属或合金蒸气离子化，离子经电场加速而沉积带负电荷的不锈钢板上，从而形成色泽丰富艳丽的金属膜。其中热阴极电子***蒸发离子镀，利用铜坩埚加热融化被镀金属材料，利用钽灯丝给工件加热、除气，利用电子***增强离化率，不但可以得到厚度3~5μm的TiN涂层，而且其结合力、耐磨性均有不俗表现，甚至用打磨的方法都难以除去。这么做不仅仅是为了增加产品的美观程度，也可以很大程度上提升其使用寿命，所以在实际中得到了广泛应用，成为当今公认的、能加工硬脆非金属材料的工具。

真空镀钛是指在真空的环境下，采用弧光放电，把阴极钛靶作为蒸发源，通过钛靶与阳极机体之间的弧光放电，使钛靶材蒸发并形成离子体，产生的离子体高速向产品上运动，在产品表面进行沉积，形成了钛膜层。要想镀出坚固的钛层，首先要有好的设备。用途：高速钢切削工具，慢速加工工具（如低速车刀粒），耐磨零件，注塑模具。因为在镀膜过程中，真空系统必需要工作稳定，炉体保压要好，如果在镀膜过程中有杂气掺入，颜色就会不理想，严重的还会脱钛。

电子束蒸发镀膜

利用高速电子束加热使材料汽化蒸发，在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量密度可达104-109w/cm2，可达到3000℃以上，可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、AL2O3等。

电子束加热的蒸镀源有直***型电子***和e型电子***两种(也有环行)，电子束自源发出，用磁场线圈使电子束聚焦和偏转，对膜料进行轰击和加热。