反应溅射在溅射气体中加入少量的反应气体

反应溅射

在溅射气体中加入少量的反应气体如氮气，氧气，烷类等，使反应气体与靶材原子一起在衬底上沉积，对一些不易找到块材制成靶材的材料，或溅射过程中薄膜成分容易偏离靶材原成分的，都可利用此方法。

反应气体：O2，N2，NH3，CH4，H2S等

镀膜操作

将制好的样品台放在样品托内，置于离子溅射仪中，盖好顶盖，拧紧螺丝，打开电源抽真空。待真空稳定后，约为5 X10-1mmHg，按下"启动"按钮，通过调节针阀将电流调至6~8mA，开始镀金，镀金一分钟后自动停止，关闭电源，打开顶盖螺丝，放气，取出样品即可。

扫描电子显微镜在微观领域的研究中是非常实用且的仪器

扫描电子显微镜在微观领域的研究中是非常实用且的仪器。经过半个多世纪的发展，扫描电镜的功能已经得到了很大完善，它可以与许多仪器联用，不仅可以观察样品的形貌，也可以对样品成分或晶体结构进行分析。 在分析测试之前，制备一个好的样品就显得尤为重要了，扫描电镜制样的好坏直接关系到图像的拍摄、观察和对图像的分析。如果样品制备得不合适，没有达到扫描电镜的观察条件，即便所使用的扫描电镜性能再好也很难拍摄出满意的图像和得出准确的分析结果。 相较于透射电镜而言，扫描电镜的样品制备过程就显得简单多了。

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器

扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时，电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射，而其余电子则穿透样品逐渐失去动能，后停止运动而被样品吸收。在这个过程中，百分之99以上的入射电子能量转化为样品热能，剩余约百分之1的入射电子能量激发样品的各种信号。这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电镜设备利用这些信号获取信息来分析样品。