扫描电镜及其组合分析功能

随着现代科技的发展，扫描电镜及其组合分析功能相继出现，如微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热过程中微观结构的变化和冷冻；平台系统主要用于观察和分析受力过程中发生的微观结构变化。扫描电镜结合其他设备的新分析功能，在新材料、新工艺的探索和研究中发挥着重要作用。

由电子发出的电子束经过栅极静电聚焦后成为直径50微米的点光源，然后在加速电压作用下，经两三个透镜组成的电子光学系统，电子束被会聚成几十埃大小聚焦到样品表面。

扫描电子显微镜的地方,都用SEM代替

扫描电子显微镜对我们来说似乎有点陌生，但它存在于我们的生活中。我们需要进一步了解它，才能更好地利用它为人类创造价值。扫描电子显微镜由三部分组成：真空系统、电子束系统和成像系统。下面提到的扫描电子显微镜的地方，都用SEM代替。

成像系统和电子束系统均内置于真空柱中。真空柱的底部是密封室，也就是放置样品的地方。

之所以采用真空，主要基于以下两个原因：

电子束系统中的灯丝在普通大气中会很快氧化失效，所以使用SEM时除了真空外，通常还需要用纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。

为了增加电子的平均自由程，使更多的电子用于成像。

电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的两个相邻点之间的zui小距

电子显微镜是根据电子光学原理，利用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜，从而可以在很高的放大倍数下对物质的精细结构进行成像的一种仪器。

电子显微镜的分辨能力用它所能分辨的两个相邻点之间的zui小距离来表示。1970年代，透射电子显微镜的分辨率约为0.3纳米（人眼的分辨率约为0.1毫米）。

目前电子显微镜的zui大放大倍数在300万倍以上，而光学显微镜的zui大放大倍数在2000倍左右，所以可以直接观察到一些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子晶格通过电子显微镜。