若需要用能谱或波谱仪来作成分分析的样品,蒸镀碳膜

若需要用能谱或波谱仪来作成分分析的样品，蒸镀碳膜。碳为超轻元素，碳膜对射线吸收小，而且增加的谱峰也仅有一个碳的K锋，对定量分析结果的影响也小。蒸碳时通常会用高真空的碳镀膜仪，需要注意的是蒸碳时对镀膜仪的真空度要求高，碳棒点燃时的温度也高，会有高温热辐射，对有机高分子和生物等不耐热的样品容易引起灼伤。所蒸的碳膜要均匀，膜厚控制在10~15 nm之间，对于凹凸起伏严重的样品，所镀的膜层应适当增加到15~20 nm。

不导电或者导电差的样品为什么要喷金

不导电或者导电差的样品为什么要喷金，对于不导电、导电差或者是磁性的样品，扫描成像是通过detecter获得二次电子和背散射电子的信号。如果样品不导电或导电性不好，会造成样品表面多余电子或游离粒子的累积不能及时导走，一定程度后会反复出现充电、放电现象，影响电子信号的传递，造成图像扭曲、变形或晃动等现象。

喷金后样品表面导电性增强，可以避免积电效应，样品表面喷金后，只是在其表面覆盖了几个到十几个金原子层，厚度只有几个纳米到十几个纳米而已，对于看形貌来说，几乎是没有影响的。

扫描电镜及其组合分析功能

随着现代科技的发展，扫描电镜及其组合分析功能相继出现，如微热台和冷台系统，主要用于观察和分析材料在加热过程中微观结构的变化和冷冻；平台系统主要用于观察和分析受力过程中发生的微观结构变化。扫描电镜结合其他设备的新分析功能，在新材料、新工艺的探索和研究中发挥着重要作用。

由电子发出的电子束经过栅极静电聚焦后成为直径50微米的点光源，然后在加速电压作用下，经两三个透镜组成的电子光学系统，电子束被会聚成几十埃大小聚焦到样品表面。