扫描电镜喷金前需要喷金的类样品
扫描电镜喷金几乎可以对所有类型的样本进行图像处理,陶瓷、金属、合金、半导体、聚合物、生物样品等。然而,某些特定类型的样品更具有挑战性,并且需要操作者进行额外的样品制备,以便借助扫描电镜喷金收集高质量图片。这些额外的步骤包括在样品中表面溅射一个额外的导电薄层材料,如金、银、铂或铬等。
使用扫描电镜喷金前需要喷金的类样品是电子束敏感样品。这类样品主要是生物样品,但也可能是其他种类,例如塑料材料。扫描电镜喷金中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。如果样品是由电子束敏感的材料制成,那么,这种相互作用会破坏部分甚至整个样品结构。在这种情况下,用一种非电子束敏感材料制成的表面镀层就可以起到保护层作用,防止此类损伤。
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器
扫描电子显微镜是检测样品表面形貌的大型仪器。当具有一定能量的入射电子束轰击样品表面时,电子与元素核和外层电子发生一次或多次弹性和非弹性碰撞。一些电子被样品表面反射,而其余电子则穿透样品,逐渐失去动能,在Z后停止运动,被样品吸收。在这个过程中,99%以上的入射电子能量转化为样品热能,剩余约1%的入射电子能量激发样品的各种信号。如图1所示,这些信号主要包括二次电子、背散射电子、吸收电子、透射电子、俄歇电子、电子电动势、阴极发光、X射线等。扫描电子显微镜设备使用这些信号来获取信息来分析样品。
灯丝发射的热电子在2
灯丝发射的热电子在2-30KV的电压下加速,经两个聚光镜和一个物镜聚焦后,形成具有一定能量、强度和强度的入射电子束。光斑直径。在线圈产生的磁场作用下,入射电子束按一定的时间和空间顺序按光栅图案进行扫描。由于入射电子与样品的相互作用,从样品激发的二次电子被收集器收集,收集器可以收集向各个方向发射的二次电子。这些二次电子被加速射到闪烁体上,使二次电子信息转化为光信号,然后通过光管进入光电倍增管,使光信号转化为电信号。这个电信号经过视频放大器放大后输入到显像管的栅极来调制荧光屏的亮度,荧光屏上就会出现与样品对应的相同图像。当入射电子束在样品表面扫描时,二次电子发射量随样品表面的起伏(形貌)而变化。
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